云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- SU-8胶

SU-8胶: 作品数：54被引量：207H指数：8; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：朱军刘景全杜立群陈迪明平美更多>>; 相关机构：大连理工大学上海交通大学南京航空航天大学东南大学更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划江苏省自然科学基金更多>>

高精度镍微柱阵列模具的制造: 《模具制造》2021年第9期67-70,共4页杜立群王胜羿肖海涛于洋董雅坤叶作彦王超; 国家自然科学基金资助项目(51975103)。; 使用基于SU-8胶的微电铸工艺制造了一款微柱宽度为200μm,高度为300μm,柱间隙最小为200μm的镍微柱阵列模具。针对制造过程中SU-8光刻胶去胶难的问题,提出了一种预置溶胀间隙的方法。该方法可以使完整的胶膜分割成许多独立单元,独立的...; 关键词：镍微柱阵列 SU-8胶去胶结合力溶胀

通过硬烘降低SU-8侧壁粗糙度: 《微纳电子技术》2020年第12期1028-1032,共5页田苗张笛瞿敏妮毛海平乌李瑛孔路瑶; 当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响。而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用。通过使用硬烘的方法来改善SU-8胶的侧壁粗糙度。通过调整硬烘温度和时...; 关键词：SU-8胶硬烘粗糙度大深宽比铜波导侧壁波纹

玻璃纤维增强SU-8胶技术被引量：1: 《微纳电子技术》2020年第4期324-327,共4页王惟圣周文文丁桂甫; SU-8胶是一种能够以低成本制作高深宽比微结构的负性光刻胶,在非硅微电子机械系统(MEMS)领域具有广阔的应用前景。针对SU-8胶作为微结构材料时,其弹性模量和断裂强度较低的特性,采用透明度高的微细玻璃纤维作为增强相材料,制备玻璃纤维/...; 关键词：SU-8胶玻璃纤维复合材料光刻胶微电子机械系统(MEMS)

SU-8胶高温碳化制备微电极研究: 《化工新型材料》2018年第3期197-199,共3页李大维李刚菅傲群; 国家自然科学基金(61674113;51622507;61471255);山西省自然科学基金(2014011019-1;20141001021-2;2016011040);人社部留学基金([2014]240);山西省人社厅留学人员择优资助项目([2013]251);山西省高校科技创新研究项目(2016138); 采用SU-8光刻胶为前驱体,控制转速在硅基上均匀旋涂SU-8胶薄膜,采用不同碳化温度制得微型微机电系统(MEMS)超级电容器多孔碳电极材料。研究结果表明:在碳化温度为900℃的条件下,制得的MEMS超级电容器多孔碳电极材料的孔隙结构发达、导...; 关键词：SU-8胶高温碳化超级电容器微电极

SU-8光刻胶加工工艺及应力梯度研究被引量：2: 《科技创新与应用》2017年第33期63-64,66,共3页韦剑何万益陆颖颖; 文章采用牺牲层刻蚀技术加工SU-8胶MEMS微结构,BP212正性光刻胶作为牺牲层,SU-8胶作为结构层。制造出的SU-8胶微结构完整,表面无裂纹,牺牲层释放干净。通过测量释放后的SU-8胶悬臂梁曲率半径,计算其应力梯度,研究了后烘温度对SU-8胶薄...; 关键词：SU-8胶牺牲层刻蚀应力梯度后烘温度

基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备被引量：3: 《分析化学》2016年第4期660-664,共5页李刚李大维赵清华菅傲群王开鹰胡杰桑胜波程再军孙伟; 国家自然科学基金(Nos.61504113;51205275);人社部留学基金(No.[2014]240);山西省归国留学基金(2013-035);山西省人社厅留学人员择优资助(No.[2013]251);山西省科技研究基金(Nos.20141001021-2;2014011019-1);国家863计划(No.2013AA041100);山西省科技重大专项(No.20121101004);山西省高等特色学科建设项目([2012]45)资助~~; 利用斜光刻技术替代传统的直光刻技术在相同底面积的基础上增大微阵列比表面积制备了高比表面积三维微阵列结构,。首先,利用MATLAB仿真对微阵列排布方式进行分析,确定最佳单个柱体宽度及阵列间距。实验中,采用两次甩胶法将SU-8光刻胶均...; 关键词：三维微阵列斜光刻技术 SU-8光刻胶比表面积

SU-8胶光弹性性能显微测试被引量：2: 《光学精密工程》2016年第3期547-552,共6页褚金奎李双亮张然; 国家自然科学基金(No.51175056);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT14RC(3)006);中国博士后科学基金(2014M561226)资助课题; 考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光学系数的测量实验。首先,基于光弹性原理设计了测量光路,推导了求解应力光学系数的计算公式;然后,根据所...; 关键词：光学测量显微测量光弹性分析 SU-8胶应力光学系数

UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔: 《大连理工大学学报》2015年第5期478-483,共6页马雅丽刘文开路学成刘冲; "十一五"国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13); 设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化...; 关键词：UV-LIGA技术 SU-8胶微细电铸微注塑模具型腔

基于紫外厚胶的探针加工工艺被引量：1: 《微纳电子技术》2015年第4期256-260,共5页王伟张斌珍贾志浩段俊萍崔建利赵龙; 国家自然科学基金资助项目(61401405;51475438);山西省基础研究资助项目(2014011021-4);新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862); 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外...; 关键词：微机电系统(MEMS) SU-8胶探针坐标测量机折射率补偿

背面夹缝曝光的光学模拟及其实验: 《上海交通大学学报》2014年第3期367-371,共5页朱军陈翔; 国家自然科学基金资助项目(50775149;60976081);教育部高等学校科技创新工程重大项目培育资金资助项目(708037);国家质检总局公益性基金资助项目(201110051); 背面夹缝曝光是利用光学衍射效应来制备三维微结构的新方法.采用Matlab对曝光时间和夹缝对三维SU-8结构形貌的影响进行了模拟,并开展了相应的实验研究.结果表明:背面夹缝曝光是获得三维微结构的简便方法.模拟与实验揭示了相同的规律性,...; 关键词：背面夹缝曝光三维微结构 SU-8胶

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