UV-LIGA技术

作品数：28被引量：93H指数：6
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相关机构：上海交通大学南京航空航天大学大连理工大学中国科学院更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《精细化工》《压电与声光》《大连理工大学学报》更多>>
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基于UV-LIGA的太赫兹波导微矩形腔体加工技术研究被引量：1
《电加工与模具》2021年第S01期60-65,共6页程浩 曾永彬 
国家自然科学基金资助项目(51775276);江苏省自然科学基金资助项目(BK20192007)
提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导。研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密...
关键词：太赫兹矩形波导 UV-LIGA技术 锌表面镀金 
UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔
《大连理工大学学报》2015年第5期478-483,共6页马雅丽 刘文开 路学成 刘冲 
"十一五"国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13)
设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化...
关键词：UV-LIGA技术 SU-8胶 微细电铸 微注塑模具型腔 
UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究被引量：2
《微纳电子技术》2015年第9期597-602,共6页林彬彬 陈迪 林树靖 谢耀 袁涛 崔大祥 
上海航天科技创新基金资助项目(SAST201245)
针对未来空间毫米波亚毫米波准光技术的应用,对其核心器件频率选择面(FSS)的加工技术进行了研究。通过CST MWS软件对118 GHz频率选择表面进行了仿真,研究了线宽、周期长度、结构片厚度以及垫片厚度对频率选择表面的频率响应特性的影响...
关键词：频率选择表面(FSS) UV-LIGA技术 毫米波 亚毫米波 CST MWS软件 
UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用被引量：6
《光学精密工程》2013年第5期1228-1233,共6页马雅丽 刘文开 刘冲 杜立群 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13)
研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法。针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构;然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道。对SU-8厚胶工艺...
关键词：细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶 微注塑模具型腔 微结构 
基于UV-LIGA技术的导光板微结构注射模型芯制作工艺研究被引量：2
《模具工业》2012年第10期9-12,共4页柳剑 王翠凤 
福建省教育厅自然科学基金项目(JA11306)
介绍了基于UV-LIGA技术的导光板微结构注射成型工艺过程,对注射模型芯制作关键工艺进行了分析与研究,在优选关键制备环节工艺参数的基础上,制作了带有微结构的导光板镍型芯,并通过在精密注塑机上设置温度250℃、注射速度85 mm/s、保压压...
关键词：注射模 镍型芯 UV-LIGA 导光板 微结构 热回流 微电铸 
基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺被引量：2
《微纳电子技术》2012年第2期129-133,共5页李燃灯 秦宗慧 周嘉 
复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室资助项目(10KF006)
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光。再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝...
关键词：UV-LIGA 氧化铟锡(ITO) 背面曝光 正面套刻 双层微齿轮 模具镶块 
UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究被引量：1
《电加工与模具》2011年第B04期42-45,共4页郝光亮 曲宁松 李寒松 曾永彬 
利用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术加工微细金结构。针对所沉积的微结构出现凹形的现象,建立了加工过程的电场数学模型,利用有限元方法对这种现象进行仿真研究,发现当光刻胶厚度大于微结构厚度时,可以明显改善这种情况。另外,试验还研究...
关键词：UV—LIGA 仿真 表面平整度 
柔性微夹钳的拓扑优化设计及制作工艺被引量：6
《机械设计与研究》2010年第5期44-46,49,共4页张成 禇金奎 张然 王文静 
根据连续体结构拓扑优化技术,采用基于SIMP插值模型的变密度法,以最大输出位移为目标设计了一种新型柔性微夹钳的结构,这种钳体结构新颖,拓扑构型为钳口常闭型,依靠钳体自身回程反力夹持物体,能量消耗少,而且钳口张开范围大,通用性好。...
关键词：拓扑优化 微夹钳 电热驱动 UV-LIGA技术 
UV-LIGA技术在多层微结构制备中的工艺研究被引量：1
《压电与声光》2009年第5期706-708,共3页朱军 汪红 陈翔 陈迪 刘景全 
国家重点实验室基金资助项目(914OC7903070608;914OC7903060706)
UV-LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度,尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析与实验研究,实验证明,弱曝光是产生层间位移,影响套刻精度的原因之一,减少曝光所产生的应力应以不发生位...
关键词：UV—LIGA 多层 套刻精度 曝光 中烘 
UV-LIGA技术制备大厚度高开孔率精细金属网板被引量：2
《精细化工》2009年第6期589-594,共6页周峰 朱荻 明平美 胡洋洋 
国家自然科学基金重点项目(50635040);中国博士后科学基金项目(20070421008)~~
分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,提出了采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备大厚度高开孔率精细金属网板的工艺方法。实验优选了前烘、曝光、后烘、显影、微细电铸、去胶等关键操作环节的工艺参数,检测并分析了试样性能...
关键词：精细筛网 高开孔率 UV—LIGA 微细电铸 
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