周峰

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学更多>>
发文主题：大厚度LIGAUV-LIGA技术UV金属更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《精细化工》更多>>
所获基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
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UV-LIGA技术制备大厚度高开孔率精细金属网板被引量：2
《精细化工》2009年第6期589-594,共6页周峰 朱荻 明平美 胡洋洋 
国家自然科学基金重点项目(50635040);中国博士后科学基金项目(20070421008)~~
分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,提出了采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备大厚度高开孔率精细金属网板的工艺方法。实验优选了前烘、曝光、后烘、显影、微细电铸、去胶等关键操作环节的工艺参数,检测并分析了试样性能...
关键词：精细筛网 高开孔率 UV—LIGA 微细电铸 
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