UV-LIGA

作品数：60被引量：172H指数：7
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：朱荻杜立群明平美曾永彬胡洋洋更多>>
相关机构：大连理工大学南京航空航天大学上海交通大学中国科学技术大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微模具重复利用的高深宽比铜微结构微电铸复制技术
《微纳电子技术》2024年第4期162-169,共8页苏少雄 孙云娜 宋嘉诚 吴永进 姚锦元 丁桂甫 
国家自然科学基金项目(62174108)。
针对紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺的去胶难题,提出了一种以脱模代替去胶的改良工艺,用于批量制造高深宽比铜微结构。该工艺以可重复利用的硅橡胶软模具代替传统的SU-8光刻微模具,采用硅通孔(TSV)镀铜技术进行微电铸填充,然...
关键词：紫外线光刻、电铸成型和注塑(UV-LIGA)工艺 硅橡胶模具 硅通孔(TSV)镀铜 脱模 模具重复利用 
太赫兹多层平面透镜天线的分层制造技术研究
《航空科学技术》2024年第1期115-124,共10页刘振浩 邹小舟 缪卓伟 胡孝昀 曾永彬 
航空科学基金(201907052002)。
现代信息科技的飞速发展对雷达系统提出了更高的要求,太赫兹(THz)雷达凭借其特殊的电磁特性在航空航天军事应用方面有着广阔的应用前景。高增益天线作为雷达系统的关键组成部分,在太赫兹波段的研究正受到高度关注。当天线工作频段高达1....
关键词：UV-LIGA 透镜天线 太赫兹雷达 分层制造 微电铸 
行波管折叠波导慢波结构UV-LIGA制备技术中的电铸工艺被引量：1
《微纳电子技术》2023年第11期1850-1856,共7页谢云竹 姜琪 李兴辉 潘攀 
国家自然科学基金重点项目(61831001)。
UV-LIGA是制作行波管(TWT)折叠波导慢波结构的一项重要技术,能够满足行波管对于慢波结构小尺寸、高精度和低表面粗糙度的加工要求。简要介绍了采用UV-LIGA技术制备340 GHz折叠波导慢波结构的工艺流程,主要包括在铜基底上通过光刻工艺制...
关键词：UV-LIGA工艺 行波管(TWT) 折叠波导 直流电铸 脉冲波电铸 三角波电铸 
氢气退火在UV-LIGA制作折叠波导慢波结构中的影响
《太赫兹科学与电子信息学报》2023年第10期1198-1203,共6页姜琪 谢云竹 李兴辉 潘攀 蔡军 冯进军 
详细研究了利用紫外-光刻、电铸(UV-LIGA)技术制作全铜结构折叠波导各个阶段中氢气退火工艺对实验的影响。氢气退火工艺主要用于两个阶段:第一阶段为对铜基板的烧氢处理(前期),第二阶段为实现金属结构后对基板和铸层整体的烧氢处理(后期...
关键词：氢气退火 紫外-光刻、电铸技术 慢波结构 折叠波导 
基于UV-LIGA工艺的W波段波导带通滤波器被引量：1
《微纳电子技术》2022年第11期1162-1168,共7页申欣欣 陆畅 张斌珍 段俊萍 
国家自然科学基金资助项目(5217555);国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003);山西省重点研发项目(国际合作)(201803D421043);山西省“1331工程”重点学科建设资助项目;山西省基础研究计划资助项目(20210302123074);山西省高等学校中青年拔尖创新人才资助项目。
研制了一种可应用于6G通信系统的W波段腔体带通滤波器。与传统的直接耦合带通滤波器相比,该滤波器通过引入两个基于TE_(301)模式的单线态结构,分别在通带两端产生两个传输零点,从而增强了滤波器阻带抑制性能。通过调整谐振腔尺寸,可以...
关键词：波导带通滤波器 UV-LIGA 94 GHz 单线态 传输零点 
太赫兹矩形折叠波导慢波结构铜叠片电铸厚度均匀性研究
《真空电子技术》2022年第4期67-72,共6页詹晓非 朱增伟 
江苏省自然科学基金资助项目(BK20192007);微波电真空器件国家级重点实验室基金资助项目。
矩形折叠波导慢波结构是太赫兹波段宽带大功率行波管中最具有应用前景的慢波结构,其矩形金属栅的厚度均匀性直接影响电子注与电磁波的同步,从而造成慢波系统的传输损耗。为提高矩形折叠波导慢波结构UV-LIGA叠层制造工艺中电铸矩形金属...
关键词：厚度均匀性 矩形折叠波导 反向脉冲 UV-LIGA 辅助阴极 
基于UV-LIGA的太赫兹波导微矩形腔体加工技术研究被引量：1
《电加工与模具》2021年第S01期60-65,共6页程浩 曾永彬 
国家自然科学基金资助项目(51775276);江苏省自然科学基金资助项目(BK20192007)
提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导。研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密...
关键词：太赫兹矩形波导 UV-LIGA技术 锌表面镀金 
大面积金属网板模具的制造被引量：1
《模具制造》2021年第4期66-69,共4页杜立群 肖海涛 张希 温义奎 于洋 关发龙 钟波 
国家自然科学基金资助项目(51975103)。
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm.深宽比为6、开孔率高达93%的金属铢网板模具。该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点。在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法。去胶释...
关键词：金属网板 UV-LIGA 兆声辅助 残余应力 微电铸 
金属微通道热沉换热特性仿真与实验研究被引量：2
《真空与低温》2020年第2期131-138,共8页魏壮壮 高林松 王仁彻 吕辉 杜立群 
国家自然科学基金(51975103)。
为了解决雷达等高热流密度电子设备的散热问题,通过数值模拟方法,设计了一款高宽比为5,当量直径为166.67μm的金属微通道热沉。基于热边界层中断技术,设计出间断的微通道,提升了热沉的换热性能。利用SU-8胶紫外光刻和微电铸技术制作了...
关键词：微通道热沉 UV-LIGA 换热性能 热边界层中断 
高密集金属微通道散热器成形及封装工艺研究被引量：2
《航空制造技术》2019年第19期92-98,共7页赵雯 吕辉 翟科 宋满仓 魏壮壮 姬学超 杜立群 
国家自然科学基金项目(51375077,51475245);大连理工大学创新团队项目(DUT16TD20)
对高密集金属微通道散热器的成形及封装工艺进行了研究。基于UV LIGA技术制作了通道宽度为100μm、高度大于500μm的高密集金属微通道底板,并将微通道底板与盖板进行封装。针对高密集金属微通道散热器封装中存在的封装面无法完全贴合的...
关键词：散热器 微通道 封装 UV-LIGA 密封性 
全选清除导出
共6页<123456>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部