郝光亮

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：南京航空航天大学更多>>
发文主题：金UV-LIGA技术LIGAUVSU-8光刻胶更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信更多>>
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UV-LIGA技术制备微细金结构试验研究被引量：1
《电加工与模具》2011年第B04期42-45,共4页郝光亮 曲宁松 李寒松 曾永彬 
利用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术加工微细金结构。针对所沉积的微结构出现凹形的现象,建立了加工过程的电场数学模型,利用有限元方法对这种现象进行仿真研究,发现当光刻胶厚度大于微结构厚度时,可以明显改善这种情况。另外,试验还研究...
关键词：UV—LIGA 仿真 表面平整度 
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