显微测量

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过焦扫描光学显微测量技术综述
《计测技术》2023年第1期18-29,共12页石俊凯 李冠楠 霍树春 姜行健 陈晓梅 周维虎 
国家重点研发计划(2022YFF0605500);清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金(TH20-01);国家自然科学基金(51905528);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金(pilab2102)。
随着半导体产业的发展和器件性能的不断提升,半导体器件的特征尺寸越来越小,器件结构越来越复杂,对检测仪器的性能提出了更高的要求。首先介绍过焦扫描光学显微法(Through-focus Scanning Optical Microscope,TSOM)的测量装置及测量原理...
关键词：光学微纳测量 过焦扫描光学显微法 深度学习 无损测量 
双差动快速结构光显微测量方法和系统
《计测技术》2023年第1期112-121,共10页唐燕 韩陈浩磊 冯金花 全海洋 王建 胡松 
国家自然基金(61875201,61975211,62005287,61604154);四川省杰出青年科技基金(2020JDJQ0005);四川省中央引导地方发展计划(2020ZYD020);四川省地方创新合作合作计划(2022YFQ0007);四川省科技项目(2018JY0203)。
快速结构光显微测量技术具有高精度、高效率以及强适应性等特点,广泛应用于微纳检测领域。传统的快速结构光显微测量方法,利用轴向调制度响应曲线的线性区域,通过构建调制度值与实际高度之间的关系来实现三维形貌重建。但是,轴向调制度...
关键词：检测 三维形貌恢复 快速结构光显微测量 双差动检测 微纳检测 
贵金属超薄镀层厚度的超声显微测量
《贵金属》2022年第4期56-63,共8页张颖 李雪 刘彦伯 杨德斌 黎敏 
超声检测作为一种无损检测技术逐渐被应用到金属镀层厚度的测量中,但在纵波超声的盲区范围内,超薄镀层的超声信号往往会与界面波信号发生强耦合,使得超薄镀层厚度信息难以被直接提取。因此,以超声显微测量为依托,创新出一个超声特征参...
关键词：贵金属 镀层厚度 超声显微技术 频谱样本熵 软测量 
基于机器学习的过焦扫描显微测量方法研究被引量：4
《中国光学（中英文）》2022年第4期703-711,共9页李冠楠 石俊凯 陈晓梅 高超 姜行健 崔成君 朱强 霍树春 周维虎 
国家重点研发计划(No.2019YFB2005603);清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金(No.TH20-01);国家自然科学基金(No.51905528);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金(No.pilab2102)。
微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)具有小型化、高集成度的特点,随着MEMS结构深宽比的不断增大,对MEMS结构尺寸的测量提出更高的要求。过焦扫描光学显微技术(Through-focus Scanning Optical Microscopy,TSOM)是一...
关键词：MEMS 机器学习 过焦扫描光学显微法 微纳测量 
干涉角度显微测量提高光子相关法空气声声压测量精度研究被引量：4
《计量学报》2022年第7期927-933,共7页杨荣岩 赵洁 王大勇 朱卫民 
河南省科技攻关项目(182102310973)。
在光子相关法测量自由场空气声声压中,光束夹角的准确测量影响着测量声压结果。提出了采用显微放大成像方法,利用CCD测量干涉区条纹间距,从而得到更为精确的光束夹角。首先,通过仿真分析高斯光束干涉条纹间距均匀性对光束夹角测量的影响...
关键词：计量学 声压测量 光子相关法 干涉角度 显微成像 
三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征被引量：2
《光学精密工程》2022年第6期651-658,共8页王陈 孟宪昱 于瀛洁 孔明 刘维 
上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.20YF1412800);新型显示技术及应用集成教育部重点实验室资助课题。
三维微纳米台阶光学显微测量信息为多维形貌数据,其数据量庞大复杂、多维相关性低、表征难度大,且通常存在测量坏点影响关键尺寸表征精度。本文提出了一种三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征方法。首先,针对三维微纳米台阶的结...
关键词：三维纳米结构 台阶高度 光学显微测量 参数表征 三维形貌 
基于光学三角法的芯片凸点高度测量被引量：1
《光子学报》2022年第5期332-340,共9页王棚 孟繁昌 张滋黎(指导) 王德钊 王珊 姚恩涛 王磊 叶瑞乾 
国家重点研发计划(No.2019YFB2006700)。
本文提出一种基于光学三角法的凸点高度快速高精度测量方法,基于斜入射光学三角法的基本原理,将一束LED线光束投射到凸点上,由相机采集芯片上光束反射的图像,根据图像形貌特征计算凸点的高度。该方法在传统三角测量法的基础上结合凸点...
关键词：光学三角法 显微测量 凸点高度测量 参数标定 不确定度分析 
基于液晶空间光调制器的相移数字全息显微测量系统精度分析被引量：2
《光子学报》2022年第4期126-134,共9页钱晓彤 田爱玲 刘丙才 王红军 牛瑞 朱学亮 魏翔 
基础科研项目(No.JCKY2018426C002);陕西省科技厅项目(No.2019KW-016);苏州市重点产业技术创新项目(No.SYG201922)。
液晶空间光调制器的空间不均匀性和边缘场效应导致调制后相位存在畸变,为提高基于液晶空间光调制器的相移数字全息显微系统的测量精度,提出了二次相位标定相移数字全息的测量方法。首先,基于斐索干涉系统,以反射式液晶空间光调制器为被...
关键词：数字全息 相移 液晶空间光调制器 标定 相位重建 三维测量 
双线阵相机的线扫描差动共聚焦检测方法被引量：4
《应用光学》2022年第2期298-303,共6页赖东明 孔令华 练国富 易定容 朱星星 
福建省科技重大专项专题项目(2020HZ03018)。
针对目前微观三维表面形貌测量技术中存在检测效率和测量范围较小的问题,提出一种基于双线阵相机的线扫描差动共聚焦三维形貌测量方法。采用线扫描光源,利用线扫描拼接算法,分别合成焦前和焦后图像;再利用差动算法获得样本位于测量区域...
关键词：轴向测量 差动共聚焦显微测量 线扫描技术 双线阵相机 
基于微透镜阵列的光场显微测量方法研究
《半导体光电》2022年第2期395-399,共5页杨帆 严伟 李凡星 
与传统成像技术相比,光场成像技术能够利用光场中光线的传播方向信息,采用计算成像的方式极大地提高成像系统的景深。而传统的光学显微镜分辨率越高,景深越小。文章结合光场成像技术和传统光学显微镜,通过在显微镜一次像面插入微透镜阵...
关键词：光场成像 微透镜阵列 数字重聚焦 深度提取 
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