论微电子机械系统MEMS  

A Probe on Micro Electro Mechanical System

作　　者：鄢云[1] 

机构地区：[1]西安航空技术高等专科学校科技处,陕西西安710077

出　　处：《西安航空技术高等专科学校学报》2004年第3期32-34,共3页Journal of Xi'an Aerotechnical College

摘　　要：简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;The essay introduces the basic concept of MEMS and its constrcture as well as well as notable devices such as sensor, acutuator with detailed analysis. Issuing questions existed between micro systems,and summarized MEMS future application.

关 键 词：微电子机械系统 集成 微传感器 微执行器 微结构器件 微系统 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]