Si／SiGe异质结及其器件  

作　　者：谢孟贤 陈勇 

出　　处：《微电子技术》1993年第1期7-18,共12页Microelectronic Technology

关 键 词：化合物半导体 半导体器件 异质结 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]