测量薄膜折射率的几种方法  

Several methods of measuring the refractive index of the film

作　　者：孙香冰[1] 任诠[1] 杨洪亮[1] 冯林[1] Y.T.Chow 

机构地区：[1]山东大学光学系,山东济南250100 [2]香港城市大学光电子学研究中心

出　　处：《量子电子学报》2005年第1期13-18,共6页Chinese Journal of Quantum Electronics

基　　金：本研究工作得到国家自然科学基金(60377016;50272037和60476020)国家高技术863计划(2002AA313070)山东大学晶体材料国家重点实验室开放经费的资助。

摘　　要：准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义。系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析。It is important to measure the refractive index of the film precisely for designing and fabricating integrated optical devices. Several methods of measuring the refractive index were introduced and their principles and features were analysed.

关 键 词：薄膜光学 折射率 聚合物薄膜 椭偏法 准波导 

分 类 号：O646.54[理学—物理化学]