类金刚石碳膜的制备及性能  

作　　者：陈智颖[1] 王维洁[1] 王天民[1] 

机构地区：[1]兰州大学材料科学系,兰州730000

出　　处：《微细加工技术》1993年第3期88-91,共4页Microfabrication Technology

摘　　要：本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。

关 键 词：类金刚石 碳膜 低压气相法 制造 性能 

分 类 号：TN304.180[电子电信—物理电子学]