环境检测与控制用组合传感器研究  

Research of Combined Sensors for Environmental Detection and Control

作　　者：谢光忠[1] 蒋亚东[1] 杨邦朝[2] 

机构地区：[1]电子科技大学光电信息学院 [2]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054

出　　处：《电子测量与仪器学报》2004年第4期21-24,共4页Journal of Electronic Measurement and Instrumentation

基　　金：预研基金资助项目

摘　　要：本文分别采用磁控溅射方法、旋涂法及烧结工艺制备了铂电阻温度传感器、聚酰亚胺电容式湿度传感器及氧化锆氧气敏传感器 ,用MCM技术对可用于检测室内温度、湿度及氧气浓度的组合传感器进行了结构设计 ,并对制备的温度传感器、湿度传感器及氧气敏传感器的特性进行了测试和讨论。Platinum temperature sensor, polyimide capacitive h um idity sensor and zirconia oxygen sensors are made by magnetic sputtering technol ogy, spin-coating method and sinter technology respectively. Using MCM technolog y, the structure of combined sensors for detecting environmental temperature, hu midity and oxygen and assessing the comfort of room have been designed. All the sensors used in the combined sensors have been characterized and discussed.

关 键 词：气敏传感器 湿度传感器 铂电阻温度传感器 电容式 测试 氧气浓度 环境检测 MCM技术 旋涂法 磁控溅射 

分 类 号：TH778[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]