基于逆控制的直线电机驱动磁悬浮平台推力控制的研究  

作　　者：刘德君[1] 郭庆鼎[2] 翁秀华[2] 

机构地区：[1]沈阳工业大学电气工程学院，沈阳110023／／北华大学电气工程学院，吉林吉林132021 [2]沈阳工业大学电气工程学院，沈阳110023

出　　处：《沈阳工业大学学报》2005年第1期106-106,共1页Journal of Shenyang University of Technology

摘　　要：介绍一种新型的直线电机驱动的磁悬浮平台，由于该磁悬浮平台的推力系统是一个多变量、非线性、强耦合的对象．为了达到较好的控制效果，应用逆控制算法，对它进行解耦控制，使其成为无耦合的三个子系统．然后根据线性系统理论进行主通道控制器的设计．同时配以速度前馈控制器来改善动态性能．仿真实验结果表明，这种控制方案达到解耦的效果，有良好的动态、静态特性，满足半导体微细加工、电路板制造、微组装系统、高速贴片等高精度定位场合的要求．

关 键 词：磁悬浮 平台 驱动 组装 对象 算法 直线电机 电路板 半导体 贴片 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]