面向21世纪的真空微电子学  

作　　者：程开富[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第44研究所，重庆400060

出　　处：《四川真空》2002年第1期10-21,共12页

摘　　要：本文概述了真空微电子学的研究领域、基本特点、冷阴极发射源、真空微电子器件与电路、真空微电子学的应用前景及发展趋势。

关 键 词：真空微电子学 真空微电子器件 冷阴极 发射 电路 基本特点 

分 类 号：TB61[一般工业技术—制冷工程] TN48[电子电信—微电子学与固体电子学]