云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 真空微电子器件

真空微电子器件: 作品数：56被引量：37H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：朱长纯罗恩泽刘卫东刘君华关辉更多>>; 相关机构：西安交通大学西北工业大学中国科学院电子学研究所东南大学更多>>; 相关期刊：《华东师范大学学报（自然科学版）》《国外科技新书评介》《真空》《Journal of Semiconductors》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金中国科学院院长基金国家高技术研究发展计划更多>>

微型化真空泵技术: 《真空》2023年第4期54-59,共6页李兴辉杜婷韩攀阳陈海军蔡军冯进军; 国家自然科学基金重点项目资助(61831001)。; 微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面,分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性,介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展,并总结了当前存在的技术障碍。结果...; 关键词：微机电系统真空微电子器件真空泵微封装微型化

Fabrication and field emission performance of arrays of vacuum microdiodes containing CuO nanowire emitters grown directly on glass without a catalyst被引量：1: 《Chinese Science Bulletin》2011年第9期906-911,共6页SHAO PengRui DENG ShaoZhi CHEN Jun XU NingSheng; supported by the National Natural Science Foundation of China (U0634002 and 50725206);the National Basic Research Program of China (2003CB314701, 2007CB935501, 2010CB327703 and 2008- AA03A314),the Science and Technology Department of Guangdong Province, the Department of Information Industry of Guangdong Province, and the Science and Technology Department of Guangzhou City; 真空 microelectronic 来源的数组用含铜的氧化物(CuO ) 在玻璃底层上被制作 nanowire emitters。电子来源的数组拥有 microdiode 结构，它能有效地导致域排放并且在三极管类型设备操作控制射出的电子的交货到阳极。为没有使用催化剂并...; 关键词：真空微电子器件场发射性能纳米线氧化铜催化剂阵列排放玻璃

柔性冷阴极新进展: 《光学与光电技术》2010年第6期74-74,共1页; 由于在场致电子发射平板显示器、电子枪、X射线放射治疗、微波放大器件等真空微电子器件中具有重要的运用，因此基于准一维纳米材料冷阴极的研究引起了人们极大的研究兴趣。其中，由于在可卷曲场致电子发射平板显示器和柔性电子器件中...; 关键词：柔性电子器件冷阴极真空微电子器件场致电子发射平板显示器一维纳米材料放射治疗电子枪

MEMS在多物理场仿真和实验测试方面的进展第二卷: 《国外科技新书评介》2010年第2期3-4,共2页赵俊娟; 硅是地壳上最丰富的半导体，性质优越而工艺技术比较成熟，绝佳的电学特性和机械特性成就了MEMS（微机电）技术的发展，开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子...; 关键词：MEMS技术实验测试物理场真空微电子器件仿真电力电子器件机械特性电学特性

新型真空器件在武器装备中的应用被引量：3: 《电子产品可靠性与环境试验》2004年第4期53-56,共4页吴海东; 介绍真空电子器件和固态器件组合的新型电子器件—微波功率模块（ＭＰＭ），以及将微电子工艺应用于传统真空电子器件而出现的真空微电子器件，这两种器件将对下一代武器系统有重要的影响。; 关键词：微波功率模块真空微电子器件微波集成电路

碳基场发射冷阴极材料的研究被引量：2: 《材料导报》2004年第5期12-15,共4页钱开友林仰魁徐东蔡炳初孙卓; 上海市科技发展基金(0214nm031); 场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进...; 关键词：碳基材料场发射冷阴极真空微电子器件类金刚石碳纳米管发射传感器场发射平板显示器微波毫米波器件

场致发射硅尖阵列的研制被引量：5: 《北京理工大学学报》2003年第5期638-640,共3页吴海霞仲顺安李文雄邵雷鲁雪峰; 国家部委预研项目(YJ961031); 研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用氧化削尖技术对硅尖进行锐化处理.制作了50×60硅尖阵列,同时给出了硅尖阵列的I-V特性.利用HNA湿法腐蚀...; 关键词：真空微电子器件湿法腐蚀场致发射阴极阵列硅尖

可低压驱动的金刚石薄膜冷阴极特性研究被引量：5: 《发光学报》2003年第3期309-312,共4页元光宋航李树玮蒋红缪国庆金亿鑫三村秀典横尾邦义; 国家"863"计划资助项目(2001AA313080); 通过在金刚石薄膜表面沉积超薄金属薄膜作为栅极的方法,在10V左右的低压下观察到场发射现象,其发射电子的发散角度为10°左右,接近于面发射;而孤立的金刚石颗粒几乎观测不到场发射。金刚石薄膜的场发射可能来自晶间相。; 关键词：低压驱动金刚石薄膜冷阴极特性场致发射面发射真空微电子器件冷阴极材料

面向21世纪的真空微电子学: 《四川真空》2002年第1期10-21,共12页程开富; 本文概述了真空微电子学的研究领域、基本特点、冷阴极发射源、真空微电子器件与电路、真空微电子学的应用前景及发展趋势。; 关键词：真空微电子学真空微电子器件冷阴极发射电路基本特点

真空微电子器件应用研究: 《山东电子》2001年第4期41-42,共2页张连俊罗恩泽; 本文叙述了场致发射的机理及几种不同类型场致发射阴极的特点，并对场致发射技术在真空微电子器件方面的应用进行了分析。; 关键词：场致发射场发射阴极真空微电子器件

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