MEMS在多物理场仿真和实验测试方面的进展 第二卷  

Advances in Multiphysics Simulation and Experimental Testing of MEMS

作　　者：赵俊娟[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所

出　　处：《国外科技新书评介》2010年第2期3-4,共2页Scientific & Technology Book Review

摘　　要：硅是地壳上最丰富的半导体，性质优越而工艺技术比较成熟，绝佳的电学特性和机械特性成就了MEMS（微机电）技术的发展，开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。

关 键 词：MEMS技术 实验测试 物理场 真空微电子器件 仿真 电力电子器件 机械特性 电学特性 

分 类 号：TH-39[机械工程] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]