碳基场发射冷阴极材料的研究  

Research on Carbon-based Cold Cathode Field Emission Materials

作　　者：钱开友[1] 林仰魁[1] 徐东[1] 蔡炳初[1] 孙卓[2] 

机构地区：[1]薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030 [2]华东师范大学纳米功能材料与器件应用研究中心,上海200062

出　　处：《材料导报》2004年第5期12-15,共4页Materials Reports

基　　金：上海市科技发展基金(0214nm031)

摘　　要：场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位。目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位。阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望。As the key parts in vacuum microelectronic devices, field emission cold cathode materials play a crucial role in the research and application of vacuum microelectronics. Presently carbon-based materials such as diamond, diamond-like carbon and carbon nanotubes are dominant in the research on the materials. In the paper, the preparation technologies, the emission characteristics and the potentials for application of the above three materials are discussed.

关 键 词：碳基材料 场发射冷阴极 真空微电子器件 类金刚石 碳纳米管 发射传感器 场发射平板显示器 微波毫米波器件 

分 类 号：TN104[电子电信—物理电子学]