硅尖

作品数：18被引量：19H指数：3
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各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响
《机电工程技术》2019年第9期35-37,共3页张小辉 胡亚明 梁军生 宿世界 王大志 
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085;51475081)
纳米硅尖在原子力学显微镜、微机械电子、光学研究、纳米级图形加工上具有广泛的用途。然而,如何制备小曲率半径高纵横比的硅尖仍为有待解决的问题和挑战。根据各项异性湿法刻蚀硅尖原理,设计了硅尖的加工工艺流程,并制备出不同纵横比...
关键词：单晶硅 针尖 各向异性刻蚀 
掩模偏转方向对硅尖形状的影响被引量：3
《光学精密工程》2009年第8期1865-1869,共5页崔岩 石二磊 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
为制备高纵横比的纳米硅尖,研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程,采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀(100)单晶硅的方法制备硅尖,根据实验结果和{411}晶面模型,分析了硅尖侧壁的组成晶面,讨论了掩模偏转方向对硅...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 掩模 
沉积在硅尖上的氮化硼薄膜的场发射特性(英文)
《延边大学学报（自然科学版）》2009年第1期36-39,85,共5页姜坤 李媛 顾广瑞 
利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1 380 cm-1和780 cm-1).在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性,与沉积在硅片上的BN薄膜比较,沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射特性...
关键词：BN薄膜 场发射 硅尖 
各向异性腐蚀制备纳米硅尖被引量：4
《微纳电子技术》2008年第12期724-728,共5页石二磊 崔岩 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金(90607002)
采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52～2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 晶面 掩模 
碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
《材料工程》2008年第10期92-94,97,共4页韩建强 卢少勇 李青 王疆英 
国家自然科学基金(60772008);中国计量学院123人才计划项目的资助
氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥。通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下...
关键词：AFM探针 削角 硅尖 各向异性腐蚀 微电子机械系统 
含添加剂的各向异性腐蚀液中实现小掩膜下高硅尖的腐蚀被引量：1
《电子器件》2008年第5期1550-1552,1558,共4页卢少勇 韩建强 李青 王疆英 陈志强 
国家自然科学基金项目资助(60772008);中国计量学院123人才计划项目资助
各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6～1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大。如此高的削角速率会给AFM探针的制作带...
关键词：AFM探针 削角 硅尖 无掩膜腐蚀 
钼硅化物改善刀口型硅尖场发射性能研究
《电子器件》2008年第4期1101-1103,共3页李新义 祁康成 董建康 罗德均 王小菊 
电子科技大学青年基金资助课题(YF020503)
采用湿法刻蚀、电子束蒸发、真空高温退火方法,成功制备出钼硅化物薄膜刀口型尖锥场发射阵列,并对涂敷钼硅化物薄膜刀口型尖锥阵列和刀口型硅尖锥阵列的电子发射性能进行了测试比较。结果表明,在刀口型硅尖锥阵列上制备钼硅化物薄膜,能...
关键词：钼硅化物 刀口型硅尖阵列 场发射 
振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺
《传感技术学报》2008年第3期439-442,共4页王凌云 孙道恒 刘益芳 
国家自然科学基金资助(50675184);福建省科技计划重点项目资助(2002H022);回国留学人员基金资助;厦门大学新世纪优秀人才基金资助
振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为...
关键词：微机械陀螺仪 隧道效应 DDSOG工艺 硅尖 
扭摆型隧穿磁强计的设计方法研究被引量：2
《仪器仪表学报》2006年第9期1154-1158,共5页阎梅芝 董哲 任大海 尤政 
本文提出了一种扭摆、谐振型隧穿式磁强计及其设计方法,它采用扭摆型线圈敏感被测磁场,结构易于加工且能够有效降低1/f噪声的影响。通过理论推导建立了扭摆和扭梁的力学模型,得出了磁强计灵敏度与扭梁刚度的关系,通过仿真说明了系统中...
关键词：隧穿 磁强计 扭摆型 硅尖 
硅尖与高质量碳纳米管混合物的场发射性能被引量：1
《真空电子技术》2006年第1期62-64,8,共4页陈淑霞 顾长志 李海钧 吕宪义 金曾孙 
以金镍复合膜为催化剂,运用等离子体增强的热丝化学气相沉积法制备了一种硅尖和高质量定向碳纳米管的混合物。为制备这种混合物,实验中96%的高浓度氢气和相对高的生长压力被使用。改变生长压力时,不同的产物———混合物、纯碳纳米管和...
关键词：硅尖和碳纳米管的混合物 金镍复合膜 密度分布 刻蚀效应 
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