各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊：《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报（自然科学版）》更多>>
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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列
《光学精密工程》2024年第9期1384-1394,共11页李菲尔 余佳珈 杜立群 吴梦希 刘军山 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3204600);大连理工大学医工交叉联合基金资助项目(No.DUT23YG215)。
玻璃微棱镜具有耐腐蚀、耐高温、寿命长等优点,但在玻璃上加工微棱镜阵列目前仍是一个难题。因此,提出了界面钻蚀主导的玻璃准各向异性湿法刻蚀方法,制备了高质量的微棱镜阵列器件。在元胞自动机中引入界面性质调控,模拟了界面钻蚀与各...
关键词：微棱镜 湿法刻蚀 硼硅玻璃 界面钻蚀 准各向异性刻蚀 
Pr_(6)O_(11)对合成金刚石单晶各向异性的刻蚀
《材料工程》2022年第11期173-181,共9页朱振东 肖长江 马金明 栗正新 
2022年度省教育厅重点科研项目(22B4300152)。
为了探究稀土氧化物对合成金刚石单晶的各向异性刻蚀,在氮气保护下,在750~950℃内用Pr_(6)O_(11)对合成金刚石单晶进行刻蚀。采用扫描电子显微分析、热重分析、X射线衍射和拉曼光谱等技术对刻蚀后金刚石单晶不同晶面的表面形貌、物相组...
关键词：金刚石单晶 氧化镨 各向异性刻蚀 刻蚀机理 性能 
基于微电铸与键合工艺的纳米尖端电射流打印头的制备
《机电工程技术》2022年第10期72-74,94,共4页辛文文 王华安 朱龙 宿世界 李晓建 梁军生 
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085)。
描述了一种结合微电铸与键合工艺的纳米尖端聚焦电射流打印头的设计及制备方法,并对所制备的打印头进行打印测试。首先通过单晶硅自停止腐蚀工艺制备硅模板,然后通过电铸工艺制备出纳米尖端,最后通过键合及湿法减薄工艺制备出硅-玻璃-...
关键词：各向异性刻蚀 微电铸 键合 电射流打印 
氧化铈刻蚀金刚石表面形貌表征被引量：2
《粉末冶金技术》2022年第4期318-324,333,共8页陈冰威 杨雪峰 朱振东 栗正新 
为研究氧化铈刻蚀对于金刚石表面形貌的影响,将金刚石单晶与氧化铈粉末以质量比1:5的比例混合,并在N_(2)气氛下对金刚石进行刻蚀处理。通过对刻蚀后金刚石的表面形貌、表面刻蚀深度、物相组成的表征与分析探究氧化铈粉末刻蚀对于金刚石...
关键词：金刚石单晶 氧化铈 表面形貌 各向异性刻蚀 
氧化铁刻蚀金刚石表面形貌的表征及形成机理被引量：7
《材料导报》2020年第14期14045-14050,共6页肖长江 窦志强 朱振东 
郑州市科技局自然科学项目(20150246).
为了系统研究不同温度下氧化铁刻蚀金刚石表面的形貌及形成机理,以人造金刚石为刻蚀材料,以氧化铁作为刻蚀剂,先将金刚石洗净,然后将金刚石与氧化铁以质量比为1∶5混合均匀、压实,用氮气作为保护气氛,在650~850℃下用氧化铁刻蚀金刚石...
关键词：金刚石单晶 氧化铁 温度 各向异性刻蚀 表面粗糙度 机理 
模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖被引量：1
《光学精密工程》2020年第7期1500-1509,共10页胡亚明 梁军生 杨金鹤 王大志 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.51675085);大连市科技创新基金资助项目(No.2019JRGX042)。
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获...
关键词：纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层 
刻蚀条件对石英各向异性刻蚀特征的作用机理及KMC数值模拟被引量：1
《江苏大学学报（自然科学版）》2020年第2期221-229,共9页张辉 满青珊 贲伟 鲁士仿 秦晅 幸研 
针对石英晶体各向异性湿法刻蚀复杂的各向异性刻蚀特性,致使刻蚀演化过程和结果难以预测和控制,利用刻蚀半球法得到了石英在多种体积比刻蚀溶液中和不同温度条件下的全晶面刻蚀速率,分析了刻蚀条件的改变对于石英刻蚀各向异性特征的影...
关键词：石英 各向异性 湿法刻蚀 活化能 KMC仿真模型 
湿法刻蚀提高硅刻蚀均匀性技术研究被引量：13
《电子工业专用设备》2019年第5期13-16,共4页祝福生 夏楠君 赵宝君 黄鑫亮 王文丽 
介绍了硅湿法刻蚀的工作原理,分析了影响硅刻蚀均匀性的主要因素,重点阐述了在湿法腐蚀设备中提高硅刻蚀均匀性的方法。
关键词：湿法刻蚀 各向同性刻蚀 各向异性刻蚀 刻蚀均匀性 
各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响
《机电工程技术》2019年第9期35-37,共3页张小辉 胡亚明 梁军生 宿世界 王大志 
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085;51475081)
纳米硅尖在原子力学显微镜、微机械电子、光学研究、纳米级图形加工上具有广泛的用途。然而,如何制备小曲率半径高纵横比的硅尖仍为有待解决的问题和挑战。根据各项异性湿法刻蚀硅尖原理,设计了硅尖的加工工艺流程,并制备出不同纵横比...
关键词：单晶硅 针尖 各向异性刻蚀 
温和氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀
《材料科学与工程学报》2018年第6期970-974,984,共6页沈钢 肖少庆 张秀梅 顾晓峰 
国家自然科学基金资助项目(61404061);江苏省自然科学青年基金资助项目(BK20140168);江苏省产学研联合创新资金资助项目(BY2014023-19).
本文采用一种简单有效的方法对石墨烯进行处理,可将多层石墨烯减薄为单层或任意层。采用自主研发的温和等离子体系统,以氢气作为先驱气体对多层石墨烯进行处理,再对处理过的样品进行高温退火。研究表明,温和氢气等离子体能利用氢离子的...
关键词：石墨烯 减薄 温和等离子体 拉曼 各向异性 
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