各向异性刻蚀

作品数:41被引量:64H指数:4
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相关作者:郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊:《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报(自然科学版)》更多>>
相关基金:国家自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划航天科技创新基金黑龙江省青年科学基金更多>>
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国家自然科学基金
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作品数:3164202被引量:8320308H指数:431
相关主题:数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家自然科学基金(50775149)
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作品数:1被引量:3H指数:1
相关主题:光刻胶 各向异性刻蚀 金属 微针 载药
相关领域:电子电信
中国人民解放军总装备部预研基金
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作品数:8449被引量:38553H指数:44
相关主题:数值模拟 仿真 力学性能 无人机 故障诊断
相关领域:自动化与计算机技术 电子电信 航空宇航科学技术 理学 一般工业技术
国家自然科学基金(11204250)
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作品数:10被引量:18H指数:3
相关主题:单晶硅 硅表面 飞秒脉冲激光 掺杂 飞秒脉冲
相关领域:电子电信 理学 动力工程及工程热物理
黑龙江省青年科学基金(QC05C12)
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作品数:1被引量:2H指数:1
相关主题:MEMS PZT薄膜 PZT 各向异性刻蚀 微驱动器
相关领域:一般工业技术
航天科技创新基金(CASC201105)
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作品数:23被引量:88H指数:6
相关主题:自标定 惯性平台 航天器 自对准 航天器姿态
相关领域:航空宇航科学技术 自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学
中央级公益性科研院所基本科研业务费专项
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作品数:77167被引量:457647H指数:118
相关主题:影响因素 数值模拟 土壤 地震 高校
相关领域:农业科学 医药卫生 经济管理 天文地球 文化科学
国家自然科学基金(50075055)
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作品数:5被引量:10H指数:2
相关主题:反应离子刻蚀 PMMA 微结构 反应离子深刻蚀 LIMN2O4
相关领域:电子电信 电气工程
江苏省产学研联合创新资金项目
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作品数:2384被引量:10519H指数:29
相关主题:经编 性能研究 数值模拟 无线传感器网络 力学性能
相关领域:轻工技术与工程 自动化与计算机技术 化学工程 机械工程 农业科学
国家自然科学基金(60976081)
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作品数:1被引量:3H指数:1
相关主题:光刻胶 各向异性刻蚀 金属 微针 载药
相关领域:电子电信
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