国家自然科学基金(60976081)

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载药金属微针的结构设计及制备被引量：3
《上海交通大学学报》2012年第9期1428-1430,1435,共4页曹玉田 朱军 曹莹 李以贵 陈翔 陈迪 
国家自然科学基金项目(50775149,60976081);教育部高等学校科技创新工程重大培育项目资助(708037)
提出一种新型载药微针结构设计方案,采用硅的各向异性刻蚀工艺与SU-8胶光刻工艺相结合的方法制备硅与光刻胶复合载药微针模具,将硅的各向异性刻蚀所得棱锥结构用于复制微针的尖端部分,SU-8胶曝光套刻出的带凸起结构的柱体用于复制微针...
关键词：微针 光刻胶 各向异性刻蚀 断裂强度 
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