李以贵

作品数：56被引量：220H指数：7
导出分析报告
供职机构：上海应用技术学院理学院更多>>
发文主题：微细加工技术微针压电MEMS微机电系统技术更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目上海市浦江人才计划项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1
《强激光与粒子束》2016年第6期62-66,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
supported by National Natural Science Foundation of China(60777016);Lian-meng Plan Foundation of Shanghai(LM201441);Shanghai Institute of Technology Foundation(YJ 2014-03,10210Q150005)
采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制...
关键词：微制造 能量采集器 减薄技术 共晶键合 锆钛酸铅 
微压电复合材料超声波探测器的制备及应用被引量：1
《传感技术学报》2016年第6期947-951,共5页黄远 李以贵 毕贞法 颜平 王欢 山杉进 
国家自然科学基金课题项目(60777016);国家自然基金课题项目(51405303);上海联盟计划项目(LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03)
基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列...
关键词：超声波探测器 压电复合材料 微细加工工艺 超声波指向性 
基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术
《上海应用技术学院学报（自然科学版）》2015年第4期384-386,共3页李以贵 颜平 黄远 祝宁 
上海应用技术学院人才引进基金资助项目(YJ2014-03);上海应用技术学院重点学科平台资助项目(10210Q140005)
介绍了2种基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备方法.一种为基于2次不同X射线光刻技术的制备方法,即第1次为通常意义的带掩膜板光刻,第2次为无掩膜板光刻;另一种为基于2次移动掩膜板光刻加1次通常意义的带掩膜板光刻技术的制备空心微针...
关键词：空心微针 X射线光刻 对准 
基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工被引量：2
《微纳电子技术》2015年第12期786-790,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
国家自然科学基金重点项目(51035005);上海市联盟计划资助项目(LM201441);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03)
随着元器件的微型化、精密化发展,对快速微细加工提出了巨大需求。基于准分子激光微细加工技术,以串行加工方式加工了X光掩膜板图形结构和压电陶瓷(PZT)微结构。研究了波长为248 nm KrF准分子激光微细加工技术的最优加工条件,获得了高...
关键词：微细加工 准分子激光 X光光刻 X光掩膜板 压电陶瓷(PZT) 
微针采血与离子浓度检测一体化装置的研制被引量：1
《纳米技术与精密工程》2015年第6期458-462,共5页黄远 李以贵 颜平 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设资助项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03);联盟计划资助项目(LM201441)
随着生物医学MEMS技术的不断发展,医疗设备正趋于小型化、便携化和集成化.研制了一种集无痛微针采血及离子浓度测量于一体的微检测系统.该系统主要由无痛采血装置和离子浓度测量系统组成.其中无痛采血用的微针阵列制备工艺是采用X射线...
关键词：离子浓度检测 无痛采血 微针 移动光刻 固定光刻 ISFET电路 
基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片被引量：2
《微纳电子技术》2015年第11期707-712,共6页李以贵 黄远 颜平 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(60777016);日本京都纳米资助项目
荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生...
关键词：微细加工技术 液相荧光检测 生物芯片 变深度微沟道 变宽度微沟道 检测灵敏度 
基于同步辐射光刻工艺和电铸工艺的金属纳米光栅模具制备被引量：3
《中国激光》2014年第11期178-182,共5页李以贵 杉山进 
国家自然科学基金(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金(10120K146003-YJ2014-03)
随着微电子技术的发展,有必要研究在基板上制备高深宽比并拥有垂直侧壁的微纳结构。基于X射线可以制备高质量的纳米母光栅,利用精密纳米电铸技术从母光栅中复制出高质量的微纳金属光栅模具。研究了一种高深宽比的金属镍光栅模具的制备...
关键词：光学制造 同步辐射光刻 金属光栅模具 纳米电铸 聚甲基丙烯酸甲酯 母模 粘接剂 
基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试被引量：3
《纳米技术与精密工程》2014年第3期194-201,共8页李以贵 谢长生 廖哲勋 朱军 
国家自然科学基金资助项目(51035005)
为达到低成本、批量化制备微针阵列的目的,提出了一种分别制备微针针尖模具和微针立柱模具的微针模具制备方法.制备微针针尖硅模具是采用湿法刻蚀方法,SU-8微针的立柱部分则采用套刻工艺制备.以此模具为母版,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)...
关键词：微针模具 微针阵列 PDMS二次转写 聚合物 强度测试 
基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制被引量：2
《上海交通大学学报》2012年第11期1848-1851,共4页廖哲勋 李以贵 朱军 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海市浦江计划项目(09PJ1406200)
提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图...
关键词：无痛化注射 微针阵列 UV—LIGA工艺 
载药金属微针的结构设计及制备被引量：3
《上海交通大学学报》2012年第9期1428-1430,1435,共4页曹玉田 朱军 曹莹 李以贵 陈翔 陈迪 
国家自然科学基金项目(50775149,60976081);教育部高等学校科技创新工程重大培育项目资助(708037)
提出一种新型载药微针结构设计方案,采用硅的各向异性刻蚀工艺与SU-8胶光刻工艺相结合的方法制备硅与光刻胶复合载药微针模具,将硅的各向异性刻蚀所得棱锥结构用于复制微针的尖端部分,SU-8胶曝光套刻出的带凸起结构的柱体用于复制微针...
关键词：微针 光刻胶 各向异性刻蚀 断裂强度 
全选清除导出
共6页<123456>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部