杉山进

作品数：16被引量：41H指数：4
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供职机构：日本立命馆大学更多>>
发文主题：高深宽比聚甲基丙烯酸甲酯PZT锆钛酸铅X光更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》《光学精密工程》《光学学报》《微细加工技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目上海市浦江人才计划项目更多>>
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基于声表面波驱动器的液体单方向驱动被引量：1
《微纳电子技术》2017年第1期26-30,52,共6页黄远 李以贵 颜平 王欢 李俊衡 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(51405303);上海应用技术大学协同创新平台项目(3921NH166019);上海应用技术大学毕业设计重点项目(33110T165029)
设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动。通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最佳驱动频率和最优指条宽度。利用剥离工艺,在128°旋转Y切...
关键词：浮动电极型单向换能器(FEUDT) 单向声表面波 阻抗分析 传播分析 剥离工艺 单向驱动 
共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1
《强激光与粒子束》2016年第6期62-66,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
supported by National Natural Science Foundation of China(60777016);Lian-meng Plan Foundation of Shanghai(LM201441);Shanghai Institute of Technology Foundation(YJ 2014-03,10210Q150005)
采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制...
关键词：微制造 能量采集器 减薄技术 共晶键合 锆钛酸铅 
基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工被引量：1
《压电与声光》2016年第3期504-507,共4页颜平 李以贵 黄远 田中克彦 杉山进 
科技部国际合作基金资助项目(2009DFB10330);上海应用技术学院光电精密检测平台建设基金资助项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03)
高硬度陶瓷材料的微加工一直是微细加工的难题。为了解决此难题,采用金膜为中间层的硅-锆钛酸铅(Si-PZT)共晶键合工艺和带进刀标记的PZT压电陶瓷的切割加工,制备出块状PZT微结构。实验结果表明,当金膜厚为1μm时,Si-PZT的共晶键合强度可...
关键词：压电陶瓷 微细加工 共晶键合 对准切割 中间层 
基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备被引量：3
《红外与激光工程》2016年第6期216-220,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
国家自然科学基金(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金(YJ2014-03)
微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿...
关键词：微透镜阵列 微制造 X光光刻 移动光刻 PMMA 
利用体块PZT制备膜片式压电微泵被引量：6
《光学精密工程》2016年第5期1072-1079,共8页李以贵 黄远 颜平 王欢 杉山进 
国家自然科学基金资助课题(No.60777016);上海联盟计划资助项目(No.LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(No.10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金资助项目(No.YJ2014-03)
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对...
关键词：微流控分析系统 膜片式压电微泵 锆钛酸铅(PZT) 单向微阀 逆压电效应 驱动仿真 微加工工艺 
基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工被引量：2
《微纳电子技术》2015年第12期786-790,共5页李以贵 颜平 黄远 杉山进 
国家自然科学基金重点项目(51035005);上海市联盟计划资助项目(LM201441);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03)
随着元器件的微型化、精密化发展,对快速微细加工提出了巨大需求。基于准分子激光微细加工技术,以串行加工方式加工了X光掩膜板图形结构和压电陶瓷(PZT)微结构。研究了波长为248 nm KrF准分子激光微细加工技术的最优加工条件,获得了高...
关键词：微细加工 准分子激光 X光光刻 X光掩膜板 压电陶瓷(PZT) 
微针采血与离子浓度检测一体化装置的研制被引量：1
《纳米技术与精密工程》2015年第6期458-462,共5页黄远 李以贵 颜平 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设资助项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03);联盟计划资助项目(LM201441)
随着生物医学MEMS技术的不断发展,医疗设备正趋于小型化、便携化和集成化.研制了一种集无痛微针采血及离子浓度测量于一体的微检测系统.该系统主要由无痛采血装置和离子浓度测量系统组成.其中无痛采血用的微针阵列制备工艺是采用X射线...
关键词：离子浓度检测 无痛采血 微针 移动光刻 固定光刻 ISFET电路 
基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片被引量：2
《微纳电子技术》2015年第11期707-712,共6页李以贵 黄远 颜平 杉山进 
国家自然科学基金资助项目(60777016);日本京都纳米资助项目
荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生...
关键词：微细加工技术 液相荧光检测 生物芯片 变深度微沟道 变宽度微沟道 检测灵敏度 
基于同步辐射光刻工艺和电铸工艺的金属纳米光栅模具制备被引量：3
《中国激光》2014年第11期178-182,共5页李以贵 杉山进 
国家自然科学基金(51035005);上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金(10120K146003-YJ2014-03)
随着微电子技术的发展,有必要研究在基板上制备高深宽比并拥有垂直侧壁的微纳结构。基于X射线可以制备高质量的纳米母光栅,利用精密纳米电铸技术从母光栅中复制出高质量的微纳金属光栅模具。研究了一种高深宽比的金属镍光栅模具的制备...
关键词：光学制造 同步辐射光刻 金属光栅模具 纳米电铸 聚甲基丙烯酸甲酯 母模 粘接剂 
用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅被引量：6
《光学学报》2010年第5期1451-1454,共4页李以贵 杉山进 
国家自然科学基金(60777016);上海市浦江人才计划(09PJ1406200);科技部国际合作项目(2009DFB10330);航空重点实验室基金(20080857002)资助课题
为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的...
关键词：光栅 同步辐射光刻 亚微米光栅 高深宽比 纳米制造 
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