微细加工工艺

作品数：13被引量：15H指数：3
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：张卫平陈文元吴校生李勇刘武更多>>
相关机构：上海交通大学清华大学中国科学院中国科学院微电子研究所更多>>
相关期刊：《中国激光》《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划重庆大学基础及应用基础研究基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
铌在单晶硅扩散中的行为实验分析
《集成电路应用》2022年第9期22-23,共2页姚峰英 吴佳宏 胡睿 
国家科技重大专题课题(2011ZX02702_004)。
阐述在某些新型器件的制备过程中需要使用金属铌作为特殊材料进行微细加工工艺,因此需要评估如何控制研发线上的铌浓度,实验估计铌从单晶硅片背面扩散到正面的时间,以及扩散系数。
关键词：集成电路制造 微细加工工艺 扩散系数 金属铌 
微压电复合材料超声波探测器的制备及应用被引量：1
《传感技术学报》2016年第6期947-951,共5页黄远 李以贵 毕贞法 颜平 王欢 山杉进 
国家自然科学基金课题项目(60777016);国家自然基金课题项目(51405303);上海联盟计划项目(LM201441);上海应用技术学院重点学科项目(10210Q150005);上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03)
基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列...
关键词：超声波探测器 压电复合材料 微细加工工艺 超声波指向性 
生物芯片微流道的微细加工工艺被引量：3
《电加工与模具》2014年第3期66-70,共5页江树镇 郭钟宁 郑文书 黄红光 
国家自然科学基金重点资助项目(U1134003)
在生物芯片发展初期,其基底材料主要是玻璃,这是由于其加工方法是从半导体工业转移而来和玻璃材料的表面特性决定的。随着大批量、低成本的需求,基底材料转向聚合物材料,其加工方法也相应地发生转变。通过对比,介绍了生物芯片微流道微...
关键词：微细加工 微流道 刻蚀 微成形 
数控线切割在微细加工工艺中的应用
《国防制造技术》2010年第3期60-60,67,共2页李仓林 高斌 詹绍宇 
由于材料科学、高新技术的发展和激烈的市场竞争、发展尖端国防及科学研究的急需,不仅新产品更新换代日益加快。
关键词：数控线切割 微细加工 电极丝 线切割加工 产品更新换代 产品要求 特种加工 工件加工 加工精度 放电 
七星华创:值得信赖的电子专用设备制造商
《中国建设动态（阳光能源）》2009年第5期17-17,45,共2页
科技进步日新月异，信息产业发展迅猛，微电子行业成为21世纪人们关注的焦点，微电子技术是通过光刻、薄膜、真空、离子注入等微细加工工艺把整个电子系统集成在同一块半导体芯片或基片上，使微电子元器件和电子设备尺寸显著减少的微型...
关键词：微电子行业 设备制造商 信息产业发展 微电子设备 微细加工工艺 微电子元器件 电子专用设备 微电子技术 
微细加工技术及其应用被引量：1
《世界制造技术与装备市场》2007年第1期88-88,共1页朱裕民 符祚钢 
关键词：微细加工技术 ALLIANCE 微细加工工艺 法国巴黎 表面处理 专利保护 发明奖 
微小激光加工区辐射测温系统的调焦被引量：1
《中国激光》2005年第5期702-706,共5页吴云峰 叶玉堂 杨先明 秦宇伟 张雪琴 
国家自然科学基金(60277008);教育部重点科技项目(03147)和电科院;四川省科技厅资助课题(01GGP1904)资助项目。
将红外辐射测温系统用于半导体基片表面温度测量时,系统的调焦状况将影响测温结果的准确性。对这种影响进行了理论计算。结果表明,当被测高温区面积较大时,可以允许较大的调焦范围。但在激光诱导扩散等激光微细加工工艺中,曝光区直径仅...
关键词：辐射测温系统 激光加工 表面温度测量 微细加工工艺 激光诱导扩散 半导体基片 近红外波段 可见光波段 理论计算 调焦范围 温度分布 高温区 物距 准确性 波长 行扫描 可调节 焦距 物镜 成像 
磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究被引量：3
《微细加工技术》2004年第1期68-72,共5页吴校生 陈文元 赵小林 张卫平 何淼 
863计划(2002AA745120);上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目---"先进惯性传感器
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作...
关键词：磁悬浮 转子 微陀螺 微细加工工艺 平面线圈 体硅腐蚀 
平行微带谐振结构器件微尺度效应研究
《光学精密工程》2004年第z1期17-22,共6页潘武 李应良 赵伟 张昱 陈艳 
重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)
研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平行微...
关键词：平行微带 MEMS 微细加工工艺 谐振/滤波器件 微尺度效应 
基于微型涡轮发动机实现超高能量密度Power MEMS的研究被引量：5
《中国机械工程》2003年第15期1272-1274,共3页张力 徐宗俊 余成龙 
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目( 2 0 0 2 .2 47);重庆大学基础及应用基础研究基金资助项目( 2 0 0 2 .2 7)
阐述了基于微型涡轮发动机实现超高能量密度 Power MEMS的构想及其重要意义。分析了围绕证实基于微型涡轮发动机的超高能量密度Power MEMS成立性所进行的相关理论和实验研究。着眼于实现微型涡轮发动机的样机试制 ,提出了基于微型涡轮...
关键词：微机电系统 动力 涡轮发动机 微细加工工艺 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部