检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]北京七星华创电子股份有限公司
出 处:《中国建设动态(阳光能源)》2009年第5期17-17,45,共2页
摘 要:科技进步日新月异,信息产业发展迅猛,微电子行业成为21世纪人们关注的焦点,微电子技术是通过光刻、薄膜、真空、离子注入等微细加工工艺把整个电子系统集成在同一块半导体芯片或基片上,使微电子元器件和电子设备尺寸显著减少的微型化技术,以微电子设备为代表的电子专用设备是信息产业发展的坚实基础。
关 键 词:微电子行业 设备制造商 信息产业发展 微电子设备 微细加工工艺 微电子元器件 电子专用设备 微电子技术
分 类 号:TN406[电子电信—微电子学与固体电子学] F426.63[经济管理—产业经济]
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