张昱

作品数：4被引量：26H指数：3
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供职机构：重庆邮电学院光电工程学院微光机电系统研究所更多>>
发文主题：MEMS微机电系统弹簧式光开关折叠更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
所获基金：重庆市教育委员会科学技术研究项目博士科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
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力平衡式三轴微加速度计的设计与分析被引量：4
《纳米技术与精密工程》2006年第2期141-145,共5页潘武 张昱 
国家高技术研究发展计划("863"计划)重大项目(2005AA123730)重庆市教委科学技术项目(020508)
设计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计．采用硅-硅键合工艺形成作为单一检测质量块的硅片组合,利用全差分电容检测法实现对加速度三轴分量的检测．通过提高检测质量的重心,有效增加了X、Y 轴的灵敏度．利用ANSYS仿真软...
关键词：三轴微加速度计 差分电容 灵敏度 阳极键合 模态分析 
MEMS封装技术被引量：15
《纳米技术与精密工程》2005年第3期194-198,共5页张昱 潘武 
MEMS封装是在微电子封装技术基础上发展起来的一项关键的MEMS技术.首先提出了MEMS封装设计的一些基本要求,包括封装等级、封装成本、环境影响、接口问题、外壳设计以及热设计等方面.在此基础上,介绍了键合技术、倒装芯片技术、多芯片封...
关键词：微机电系统 封装 倒装芯片封装 多芯片封装 
折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析被引量：7
《光学精密工程》2005年第z1期81-85,共5页张昱 潘武 
重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)
设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压。微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略。利用MATLAB 7.0进行仿真分析,获得微镜驱动...
关键词：光开关 微镜 驱动电压 折叠弹簧 有限元分析 
平行微带谐振结构器件微尺度效应研究
《光学精密工程》2004年第z1期17-22,共6页潘武 李应良 赵伟 张昱 陈艳 
重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)
研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平行微...
关键词：平行微带 MEMS 微细加工工艺 谐振/滤波器件 微尺度效应 
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