平行微带谐振结构器件微尺度效应研究  

Study of microscale effect of parallel microstrip resonator

作　　者：潘武[1] 李应良[1] 赵伟[1] 张昱[1] 陈艳[1] 

机构地区：[1]重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065 重庆邮电学院,微光机电系统研究所,重庆,400065

出　　处：《光学精密工程》2004年第z1期17-22,共6页Optics and Precision Engineering

基　　金：重庆市教委科学技术研究项目(No.020508);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36)

摘　　要：研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平行微机械微带结构谐振/滤波器的性能做出了分析,得出该器件在电磁、机械、几何等微尺度量影响下的一些性能指标,为射频微机电系统相关微尺度效应研究提供了理论参考.

关 键 词：平行微带 MEMS 微细加工工艺 谐振/滤波器件 微尺度效应 

分 类 号：TN751[电子电信—电路与系统]