微细加工工艺

作品数:13被引量:15H指数:3
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相关机构:上海交通大学清华大学中国科学院中国科学院微电子研究所更多>>
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《中国激光》
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作品数:14751被引量:55396H指数:49
issn:0258-7025cn:31-1339/TN
主办单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题:激光技术 激光器 激光 光纤光学 激光光学
发文领域:电子电信 理学 机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术
《传感技术学报》
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作品数:8581被引量:34602H指数:44
issn:1004-1699cn:32-1322/TN
主办单位:东南大学;中国微米纳米技术学会
发文主题:无线传感器网络 传感器 MEMS 传感技术 无线传感网络
发文领域:自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 电气工程
《光学精密工程》
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作品数:8792被引量:46855H指数:54
曾用名:光学机械
issn:1004-924Xcn:22-1198/TH
主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发文主题:光学 英文 图像处理 光学设计 空间相机
发文领域:自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 理学 航空宇航科学技术
《中国机械工程》
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作品数:16363被引量:90088H指数:66
曾用名:机械工程
issn:1004-132Xcn:42-1294/TH
主办单位:中国机械工程学会
发文主题:故障诊断 数值模拟 仿真 遗传算法 优化设计
发文领域:机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺 交通运输工程 一般工业技术
《国外金属加工》
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作品数:1083被引量:354H指数:7
cn:36-1098/TG
主办单位:南昌航空工业学院
发文主题:刀具 铝合金 金属 汽车 金属切削
发文领域:金属学及工艺 一般工业技术 机械工程 冶金工程 交通运输工程
《微细加工技术》
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作品数:1244被引量:2061H指数:14
issn:1003-8213cn:43-1140/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题:离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《世界制造技术与装备市场》
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作品数:5838被引量:2342H指数:16
issn:1015-4809cn:11-5137/TH
主办单位:中国机床工具工业协会
发文主题:机床 数控机床 机床工具工业 机床工具行业 机床展览会
发文领域:经济管理 金属学及工艺 机械工程 自动化与计算机技术 交通运输工程
《集成电路应用》
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作品数:16757被引量:13785H指数:18
issn:1674-2583cn:31-1325/TN
主办单位:上海贝岭股份有限公司
发文主题:集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《电加工与模具》
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作品数:3583被引量:5461H指数:19
曾用名:电加工
issn:1009-279Xcn:32-1589/TH
主办单位:苏州电加工机床研究所;中国机械工程学会特种加工分会
发文主题:电火花加工 电火花线切割加工 电解加工 电火花 电加工
发文领域:金属学及工艺 机械工程 自动化与计算机技术 化学工程 经济管理
《激光与光电子学进展》
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作品数:15632被引量:38829H指数:38
曾用名:国外激光
issn:1006-4125cn:31-1690/TN
主办单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题:图像处理 激光 激光器 激光技术 机器视觉
发文领域:电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 金属学及工艺
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