何淼

作品数：3被引量：3H指数：1
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供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室更多>>
发文主题：磁悬浮微陀螺转子微细加工微机电系统更多>>
发文领域：电子电信航空宇航科学技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《上海交通大学学报》《机械设计与研究》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划上海市科委重大科技攻关项目更多>>
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磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计
《上海交通大学学报》2005年第1期125-128,共4页吴校生 陈文元 赵小林 李振波 张卫平 崔峰 何淼 
国家高技术研究发展计划(863)项目(2002AA745120);上海市科委2002年重大项目"微机电系统"资助
在磁悬浮转子微陀螺(MGELR)中,悬浮线圈是定子线圈的重要组成部分,它产生的电磁力将微转子浮起.基于多圈螺旋型悬浮线圈新型结构能产生较大的悬浮力,应用有限元方法对其进行建模仿真,研究了线圈的圈数、厚度和内径对悬浮力的影响规律....
关键词：磁悬浮 微陀螺 线圈 微细加工 
磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究
《机械设计与研究》2004年第3期81-83,共3页何淼 吴校生 陈文元 张卫平 
上海市科委MEMS重大专项以及国家 863资助项目( 2 0 0 2AA745 12 0 )
微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件 ,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦 ,使之可以达到普通陀螺的精度要求。本文介绍了磁悬浮转子微陀螺的基本原理 ,根据产生电涡流、保持稳定悬浮和旋转的需求 ,对转子进...
关键词：磁悬浮 微陀螺 转子 微机电系统 微细加工 
磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究被引量：3
《微细加工技术》2004年第1期68-72,共5页吴校生 陈文元 赵小林 张卫平 何淼 
863计划(2002AA745120);上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目---"先进惯性传感器
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺。磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作...
关键词：磁悬浮 转子 微陀螺 微细加工工艺 平面线圈 体硅腐蚀 
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