X射线光刻

作品数：99被引量：152H指数：7
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基于移动X射线光刻工艺的采血微针阵列的制备被引量：1
《微纳电子技术》2018年第9期671-676,682,共7页吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东 吕曈 何易德 
国家自然科学基金资助项目(51035005);上海应用技术大学光电传感检测系统协同创新平台资助项目(10210Q180008);上海应用技术大学2018届毕业设计(论文)重点项目(3911LW180038);上海市联盟计划资助项目(LM201712)
为了降低传统采血对人体的疼痛感和损伤,制备了采血微针阵列结构。该微针阵列结构是采用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次移动X射线光刻,在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）光刻胶上得到与光刻、电铸和注塑（LIGA）掩膜版图形相似...
关键词：采血微针阵列 移动X射线光刻 毛细效应 光刻、电铸和注塑(LIGA) 
基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术
《上海应用技术学院学报（自然科学版）》2015年第4期384-386,共3页李以贵 颜平 黄远 祝宁 
上海应用技术学院人才引进基金资助项目(YJ2014-03);上海应用技术学院重点学科平台资助项目(10210Q140005)
介绍了2种基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备方法.一种为基于2次不同X射线光刻技术的制备方法,即第1次为通常意义的带掩膜板光刻,第2次为无掩膜板光刻;另一种为基于2次移动掩膜板光刻加1次通常意义的带掩膜板光刻技术的制备空心微针...
关键词：空心微针 X射线光刻 对准 
高效率X射线光刻在单级光栅研制中的应用
《微纳电子技术》2015年第4期246-250,共5页施百龄 董连和 朱效立 谢常青 曹磊峰 况龙钰 刘慎业 
国家重大科学仪器开发专项资助项目(2012YQ13012504)
为了满足单级衍射光栅的应用需求,在器件研制中对X射线光刻的关键技术进行优化,克服了曝光中图形畸变的问题,并利用同步辐射光源对单级衍射光栅进行了高效率的批量复制。通过对X射线光谱成分进行模拟,在X射线束线中插入铬反射镜和氮化...
关键词：X射线光刻 单级衍射光栅 光谱优化 掩模校正 曝光间隙控制 
硬X射线聚焦波带片的设计及制作
《光电工程》2014年第3期7-12,共6页付杰 王晓华 李金华 方铉 魏志鹏 
国家自然科学基金项目(61107032);国家自然科学基金面项目(61275170)
针对惯性约束性聚变(ICF)实验中高分辨靶源辐射成像的需要,对结合电子束光刻和X射线光刻制作大高宽比菲涅尔波带片的制作工艺进行了研究。首先采用带有自支撑薄膜的衬底进行电子束光刻和微电镀技术来制作X射线光刻掩膜,以此来降低电子...
关键词：大高宽比 X射线光刻 电子束光刻 全水电镀 
X光单级衍射光栅的研究进展
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2013年第2期164-167,178,共5页黄成龙 张继成 易勇 曹磊峰 王红斌 
四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金(11zxfk19)
介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处。阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点。综述了X光单级衍射光栅的发展历程以...
关键词：X光单级衍射光栅 黑白透射光栅 电子束光刻 X射线光刻 
高纯铝表面电抛光形成自组织图案的研究进展
《腐蚀科学与防护技术》2012年第3期245-248,共4页马迪 李淑英 
近年来具有高度有序的自组织结构的多孔阳极氧化铝（AAO）膜得到广泛的应用，尤其是作为制备纳米材料的模板．传统的光刻技术主要包括紫外光刻或x射线光刻、电子束光刻和离子束光刻．
关键词：自组织结构 电抛光 铝表面 多孔阳极氧化铝 X射线光刻 图案 高纯 电子束光刻 
微纳金属光学结构制备技术及应用被引量：21
《光学学报》2011年第9期243-250,共8页谢常青 朱效立 牛洁斌 李海亮 刘明 陈宝钦 胡媛 史丽娜 
国家973计划(2007CB935302)资助课题
微纳光学结构制备技术一直是微纳光子学器件发展的技术瓶颈。针对微纳光学结构制备技术向小尺寸、高精度和广泛应用发展的趋势,报道了基于电子束、X射线和接近式光学的混合光刻制作微纳金属光学结构技术。针对微纳光子学器件复杂图形开...
关键词：光学制造 微纳光学结构 电子束光刻 X射线光刻 自支撑薄膜 
X射线螺旋波带片制备技术
《核技术》2010年第10期730-733,共4页高南 朱效立 李海亮 谢常青 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2007CB935302)资助
本文将电子束曝光和X射线曝光技术相结合以制造X射线波段螺旋波带片。用电子束曝光和微电镀技术在镂空薄膜上制备母波带片X射线掩模版,用X射线曝光和微电镀技术小批量复制螺旋波带片。研制成可用于1.24nm波长的螺旋波带片,其最外环宽度...
关键词：螺旋波带片 电子束光刻 X射线光刻 X射线成像 
3333l/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试被引量：3
《微纳电子技术》2010年第3期174-178,共5页李海亮 马杰 朱效立 吴坚 谢常青 陈宝钦 刘明 
国家重点基础研究发展计划项目(2007CB935302);国家高技术研究发展计划(2008AA8040208);国家自然科学基金(60825403)
针对我国对高线密度X射线镂空透射光栅在空间环境探测和激光等离子体诊断方面的需求,将电子束光刻和X射线光刻技术相结合,制备出3333l/mmX射线全镂空透射光栅,栅线宽度接近150nm,周期300nm,栅线厚度为500nm,有效光栅面积达到60%。首先...
关键词：镂空透射光栅 电子束光刻 X射线光刻 微电镀 衍射效率 
应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿被引量：5
《光学精密工程》2010年第2期420-425,共6页陈少军 李以贵 杉山进 
上海市浦江人才计划资助项目(No.09PJ1406200);国家自然科学基金资助项目(No.60777016);科技部国际合作资助项目(No.2009DFB10330);航空重点实验室基金资助项目(No.20080857002)
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状...
关键词：X射线光刻 聚甲基丙烯酸甲酯 三维微结构 掩模 吸收体 
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