高纯铝表面电抛光形成自组织图案的研究进展  

作　　者：马迪[1] 李淑英[2] 

机构地区：[1]江苏技术师范学院,常州213001 [2]大连理工大学,大连116024

出　　处：《腐蚀科学与防护技术》2012年第3期245-248,共4页Corrosion Science and Protection Technology

摘　　要：近年来具有高度有序的自组织结构的多孔阳极氧化铝（AAO）膜得到广泛的应用，尤其是作为制备纳米材料的模板．传统的光刻技术主要包括紫外光刻或x射线光刻、电子束光刻和离子束光刻．

关 键 词：自组织结构 电抛光 铝表面 多孔阳极氧化铝 X射线光刻 图案 高纯 电子束光刻 

分 类 号：TQ153.5[化学工程—电化学工业]