掩模

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基于同步性能综合指标的超精密运动台迭代学习控制
《控制与决策》2025年第4期1257-1266,共10页周昕 齐月静 武志鹏 齐威 李爱琳 
国家科技重大专项项目(2018ZX02101005)。
超精密运动台是光刻机的关键组成部分,包括工件台和掩模台,二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性.针对工件台和掩模台的同步控制问题,提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC),能够减小同步误差,且有...
关键词：光刻机 工件台 掩模台 迭代学习 同步控制 同步性能综合指标 
极紫外掩模的同步辐射在波长高分辨成像仿真研究
《核技术》2025年第3期43-53,共11页苏子净 刘海岗 孟祥雨 张祥志 赵波 郭智 王勇 邰仁忠 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(No.2021YFA1601000);国家自然科学基金(No.12175297)资助。
极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻要求近乎无缺陷的EUV掩模,需要对EUV掩模缺陷进行高分辨率的在波长成像分析,分析结果用于后续的修复工艺。同步辐射可以提供优质、洁净的EUV光,结合傅里叶合成照明技术,可有效合成较大的数值孔径(Nu...
关键词：EUV掩模缺陷分析 同步辐射 傅里叶合成照明 椭圆离轴波带片 
基于可学习掩模和位置编码的遮挡行人重识别
《数据采集与处理》2025年第1期217-229,共13页杨真真 陈亚楠 杨永鹏 吴心怡 
国家自然科学基金(62071242,62171232);江苏省研究生科研与实践创新计划项目(KYCX22_0955,SJCX23_0251);江苏省研究生教育学改革项目(JGKT23_C019);南京邮电大学研究生教育学改革项目(JGKT23_XJ02);南京邮电大学教学改革研究项目(JG00723JX22)。
行人重识别虽已取得了显著进展,但在实际应用场景中,不同障碍物引起的遮挡问题仍然是一个亟待解决的挑战。为了从被遮挡行人中提取更有效的特征,提出了一种基于可学习掩模和位置编码(Learnable mask and position encoding, LMPE)的遮...
关键词：行人重识别 注意力机制 掩模机制 位置编码 TRANSFORMER 
掩模特征融合:实例分割新范式
《计算机工程》2025年第2期126-138,共13页李伟康 张思全 
国家自然科学基金(51175321)。
实例分割任务是视觉场景理解的基本任务之一,现有的算法具有一定的相似性,通过梳理现有算法中的共通性与差异性,抽象出一种新颖的实例分割范式:掩模特征融合(MFF)。该范式将实例分割任务分为语义无关的掩模特征提取、语义相关的序列提...
关键词：实例分割范式 掩模特征融合 非局部全局偏置 去噪训练 查询向量漂移 
基于潮流嵌入和最小割池化的电网静态安全分析图学习模型
《南方电网技术》2025年第1期63-73,92,共12页马遵 李永哲 何鑫 管霖 向川 陈勇 何伊慧 
国家自然科学基金资助项目(52077080);云南电网有限责任公司科技项目(056200KK52220044)。
运用数据驱动模型实现快速的电网静态安全分析是新型电力系统分析中值得探索的研究方向。提高数据驱动模型对运行方式变化的泛化能力和对电网拓扑变化的适应能力是关键技术挑战之一。提出了一种基于潮流嵌入和最小割池化的电网静态安全...
关键词：静态安全分析 图深度学习 掩模图自编码器 潮流嵌入 图池化 拓扑变化适应性 
基于掩模Transformer的HDR图像重建算法
《激光与光电子学进展》2025年第2期399-410,共12页张祖珩 陈晓冬 汪毅 蔡怀宇 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(82027801)。
在众多高动态范围(HDR)图像重建算法中,生成包围曝光式的HDR图像重建算法因其突出的动态范围扩展能力及对复杂光照场景的适应能力成为研究的热点。然而,生成包围曝光式重建算法往往基于卷积神经网络构建图像生成器,导致生成器仅具有局...
关键词：高动态范围图像重建 深度学习 软掩模 TRANSFORMER 
多重边界参考的弱监督语义分割网络
《计算机辅助设计与图形学学报》2025年第1期120-128,共9页杨大伟 迟津生 毛琳 
辽宁省自然科学基金(20170540192,20180550866,2020-MZLH-24).
针对弱监督语义分割任务中目标被重叠或遮挡,种子区域生成的伪像素掩模难以准确覆盖目标区域,出现的漏分割和错分割问题,提出一种多重边界参考的弱监督语义分割网络.首先设计了一个边界探索模块,该模块聚焦于融合空间域边界和频率域边界...
关键词：弱监督语义分割 伪像素掩模 空间域 频率域 
弱光线下道路交通标志图像增强算法
《计算机时代》2025年第1期5-10,共6页张书涵 王婷 郭钊汝 
针对弱光线下道路交通标志特征不明显、细节颜色丢失,目标检测算法识别准确度低的问题,本文基于HSV空间提出针对V分量的改进MSR-CLAHE算法、针对S分量的UM-GF算法。对V分量利用双边滤波代替高斯滤波改进MSR算法,进行局部对比度增强,并结...
关键词：图像增强 MSR算法 CLAHE算法 非锐化掩模 引导滤波 
重新思考工业微小缺陷检测中的掩模降采样和回归损失函数
《计算机辅助设计与图形学学报》2025年第1期176-184,共9页李刚 邵瑞 李敏 万洪林 周鸣乐 韩德隆 
山东省重点研发计划(重大科技创新工程)(2023CXGC010112);泰山学者工程(tsqn202103097).
针对PCB在生产过程中会出现短路、漏孔等缺陷,已有的损失函数和降采样算法存在定位不准确等导致缺陷检测收敛缓慢、检测结果不准确的问题,提出了一种基于掩模降采样和微小缺陷交并比损失的一阶段缺陷检测器.首先,提出基于面积损失的微...
关键词：损失函数设计 降采样 缺陷检测 目标检测 
交换版机械手用柔性吸附装置的力学特性及吸附效果分析
《电子工业专用设备》2024年第6期58-62,共5页刘颖 关宏武 赵东雷 林继柱 
吸附装置作为交换版机械手重要的组成部分,对掩模传输过程中物料的可靠性、安全性和掩模版的变形起关键性作用。通过综合考虑吸附装置的吸附性能、密封性能及对掩模版变形的影响,设计了一种新型柔性吸附装置,通过有限元仿真分析柔性吸...
关键词：柔性吸附装置 有限元分析 掩模版变形 吸附性能试验 密封性能试验 
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