工件台

作品数：100被引量：305H指数：9
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基于同步性能综合指标的超精密运动台迭代学习控制
《控制与决策》2025年第4期1257-1266,共10页周昕 齐月静 武志鹏 齐威 李爱琳 
国家科技重大专项项目(2018ZX02101005)。
超精密运动台是光刻机的关键组成部分,包括工件台和掩模台,二者的同步性能直接影响光刻机的套刻精度和关键尺寸均匀性.针对工件台和掩模台的同步控制问题,提出一种基于同步性能综合指标的迭代学习控制(MASD-ILC),能够减小同步误差,且有...
关键词：光刻机 工件台 掩模台 迭代学习 同步控制 同步性能综合指标 
基于参数曲面的硅片形貌图建立方法
《光学学报》2024年第21期137-145,共9页武志鹏 齐月静 王丹 徐天伟 周昕 
国家科技重大专项(2017ZX02101006-003)。
针对双工件台光刻机测量位硅片形貌测量问题,提出一种基于参数曲面的硅片形貌建立方法。对焦传感器用于测量硅片表面高度值,基于三角测量和光学差分原理设计,可实现纳米级的测量精度。静态曝光方法建立的形貌图在Die内部不具备连续性,...
关键词：硅片形貌图 参数曲面 对焦传感器 工件台 光刻机 
磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
《电子工业专用设备》2024年第3期68-71,共4页王伟 王文举 张继静 
为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高...
关键词：半导体设备 超精密工件台 磁浮平面电机 双工件台 
宏微复合工件台影像测量仪专用控制器设计
《制造业自动化》2024年第4期184-189,共6页余斯洋 王健 李凡星 孙思 严伟 
当前,三维(3D)扫描测头的纳米级测量分辨率要求影像测量仪的伺服单元具备相同级别定位精度。为解决这一难题,影像仪伺服工件台采用宏动台和微动台构成的复合结构,以实现大测量范围内的高精度定位。这类采用了宏微复合工件台的影像仪设...
关键词：工件台控制 运动控制 数字信号处理器 可编程逻辑阵列 
光刻机工件台前馈补偿器参数整定方法
《清华大学学报（自然科学版）》2023年第10期1640-1649,共10页刘涛 杨开明 朱煜 
国家科技重大专项(2017ZX02102004)。
前馈控制器是光刻机工件台在高加减速工况下实现纳米级运动精度的关键环节。该文针对传统情况下四阶前馈拟合逆模型能力较差、难以完全消除参考轨迹导致重复性误差的问题,提出了一种以四阶前馈为基础,外加有理分式补偿器的前馈控制架构...
关键词：前馈控制 有理前馈控制器 补偿前馈 数据驱动 参数整定 工件台 
高精度TFT基板长寸量测设备关键技术研究
《精密制造与自动化》2023年第3期6-10,56,共6页徐兵 周畅 芦华 
长寸量测设备是薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)制程工艺中最为核心的量测设备,其测量精度及稳定性直接决定了对TFT基板产品是否合格的判断。基于SMEE研制的SOM260型6代长寸量测设备,重点对高精度工件台、模版匹配、焦面测量、环...
关键词：薄膜晶体管 长寸量测设备 工件台 模版匹配 焦面测量 温度控制 
一种无源真空吸附装置的研究被引量：2
《电子工业专用设备》2022年第1期57-63,共7页齐芊枫 李进春 张德峰 
为消除真空管路对高精密工件台的干扰,提出并开发了一种无气源、无管路干扰的真空吸附装置,采用与吸盘结构集成的机械驱动装置在常压环境中自动产生真空源,直接实现吸盘吸附硅片的功能,通过对该装置进行试验分析,结果表明,在60 s内可保...
关键词：工件台 无源真空 吸附装置 
光刻机工件台模态分析与试验验证
《中国集成电路》2021年第12期48-53,共6页王璟 
模态分析是研究光刻机系统振动特性的主要方法,其具体研究方式可分为试验模态分析和有限元模态分析两种方法。基于有限元方法的模态分析,由于在建模过程中引进了一系列人为假设,因而导致了计算结果存在误差。而试验模态分析是建立在试...
关键词：有限元 模态试验 模态 模型修正 
掩模制造用量测设备工件台结构研究
《电子与封装》2021年第6期59-63,共5页华卫群 尤春 薛文卿 
高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度。选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度。量...
关键词：量测设备 工件台 花岗岩基座 气浮导轨 微晶玻璃 
基于三阶变频控制的亚微米工件台定位方法研究被引量：1
《电子测量技术》2020年第23期73-77,共5页曾环 田鹏 郭潇逸 陆小龙 林思建 
四川大学博士后交叉学科创新培育项目(2019BHJX11);四川省科技厅创新创业苗子工程重点项目(2019JDRC0094)资助。
微细加工光学技术要求工件平台具有纳米级定位精度,其中初级高速大行程步进电机运动系统精度需突破1μm。受限于电机丢步和机械惯性两个不利因素的影响,现有的闭环控制方法难以满意精度要求或者控制过程复杂不利于系统集成。提出反向利...
关键词：步进电机 闭环控制 亚微米 
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