高精度TFT基板长寸量测设备关键技术研究  

Research on Key Technology of Total Pitch Measurement Equipment for High-precision TFT Substrate

作　　者：徐兵 周畅 芦华 XU Bing;ZHOU Chang;LU Hua

机构地区：[1]上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203 [2]上海机床厂有限公司,上海200093

出　　处：《精密制造与自动化》2023年第3期6-10,56,共6页Precise Manufacturing & Automation

摘　　要：长寸量测设备是薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,TFT)制程工艺中最为核心的量测设备,其测量精度及稳定性直接决定了对TFT基板产品是否合格的判断。基于SMEE研制的SOM260型6代长寸量测设备,重点对高精度工件台、模版匹配、焦面测量、环境温控等关键技术进行了介绍;实测数据表明,公司所研制的6代长寸量测设备,完全能够满足6代TFT基板制程工艺需求。所研究的技术可以扩展到8代以上高世代TFT基板长寸量测设备中,为大面积高精度TFT基板长寸量测奠定了坚实基础。

关 键 词：薄膜晶体管 长寸量测设备 工件台 模版匹配 焦面测量 温度控制 

分 类 号：TN321.5[电子电信—物理电子学]