王文举

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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
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磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
《电子工业专用设备》2024年第3期68-71,共4页王伟 王文举 张继静 
为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高...
关键词：半导体设备 超精密工件台 磁浮平面电机 双工件台 
一种新型的步进电机控制系统
《电子工业专用设备》2011年第11期52-56,共5页田知玲 谭立杰 胡晓霞 王文举 
采用AVR单片机AT90USB646作为主控制芯片,SLA7078M作为电机驱动专用芯片,实现了一种新型两相步进电机的控制驱动系统。该方案硬件电路简单、软件编程方便,利用串口通信可以实现上位机的远程控制。实践证明该控制系统具有结构简单、精度...
关键词：AVR单片机 步进电机 电机驱动 
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