谭立杰

作品数：18被引量：30H指数：3
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全自动上下料方法在半导体设备中的应用
《自动化应用》2024年第15期123-125,129,共4页宋婉贞 武震 谭立杰 张永昌 
为了实现GPP半导体设备中的全自动上下料方法,该系统采用模块化设计,可便捷地安装于现有加工设备一侧或用于手动设备升级。上下料机构通过横向、纵向电机模组、吸盘、料盒及传感器的精密配合,实现了晶圆的自动取放与传输。控制系统以欧...
关键词：全自动 堆叠式 可编程逻辑控制器 上下料方法 
连续光与脉冲光的跨阻电路设计
《电子工业专用设备》2023年第1期45-49,共5页谭立杰 吴爽 张乾 武震 
在连续光和脉冲光的光强检测电路中,使用跨阻放大器(TIA)将输入光电流转换为电压信号输出。对这两种应用的设计原理进行了详细分析和仿真,找出跨阻增益的计算方法,得出连续光的跨阻增益与反馈电阻有关系,而脉冲光的跨阻增益与反馈电容...
关键词：连续光 脉冲光 跨阻电路 积分电路 
四象限传感器在高精度物料传输系统中的定位应用被引量：3
《电子工业专用设备》2023年第1期55-59,共5页孙敏 谭立杰 宋婉贞 符瑶 
基于四象限光电传感器技术,针对大型半导体物料传输设备的高精度定位需求,设计了一套高精度定位和补偿系统。经过验证,这种基于四象限传感器的定位方法可有效应用于高精度物料传输系统,进行定位并且进行位置补偿后完成物料准确定位传输。
关键词：四象限 定位传感器 物料传输 
基于EtherCAT现场总线的物料传输控制系统被引量：1
《电子工业专用设备》2022年第5期47-52,共6页孙敏 符瑶 谭立杰 
基于EtherCAT现场总线的运动控制器,设计了一种物料传输多轴运动控制系统,采用经典的PID运动控制算法和模糊自适应PID控制算法,实现了物料的高精度传输和交换。
关键词：EtherCAT现场总线 控制系统架构 多轴运动控制系统 
用于位置检测的光电二极管参数分析被引量：3
《电子工业专用设备》2022年第3期61-64,共4页谭立杰 魏祥英 孙敏 闫芸 
PIN型光电二极管由于响应速度快,暗电流低,噪声低等特点越来越多地被应用到位置检测中,如何根据设计需求对光电二极管进行选型很重要。通过分析光电二极管的光灵敏度、暗电流、噪声等效功率和响应速度性能参数,分解光电传感器位置检测...
关键词：光电二极管 位置检测 参数特性 响应速度 
伺服运动控制工作台精度误差分析被引量：1
《电子工业专用设备》2022年第1期53-56,共4页谭立杰 闫芸 宋婉贞 
以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法。从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准。通过几方...
关键词：伺服控制 XY工作台 定位精度误差 重复精度误差 
精密切割工艺的轨迹规划研究被引量：1
《电子工业专用设备》2019年第2期8-12,共5页陈国兴 高爱梅 程秀全 谭立杰 
在微孔精密加工工艺中,常规的电机运动轨迹已经很难满足产品的工艺标准。通过运动控制系统搭建,采用直线缓冲与圆弧过渡两种主要方式,改变激光加工轨迹,以减少电机速度较慢时烧蚀严重所造成的孔径不规则现象,并克服了首脉冲带来的热影...
关键词：轨迹规划 精密加工 切割工艺 
直线电机在半导体设备中的典型应用分析被引量：1
《电子工业专用设备》2019年第2期16-19,共4页赵立华 谭立杰 黄卫国 石艺楠 张永昌 
随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。
关键词：直线电机 半导体设备 原理 应用分析 
激光划片机的晶圆自动对准方法研究被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第3期24-27,63,共5页张乾 张永昌 邓胜强 谭立杰 
针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片。
关键词：激光划片机 图像识别 底部对准 玻璃钝化(GPP)晶圆 
直线电机伺服控制系统研究被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第2期67-70,共4页张乾 谭立杰 宋婉贞 陈国兴 
通过直线电机的伺服控制分析,研究了伺服控制策略;以激光划切工作台为应用平台,针对x向电机位置环进行深入分析来解决实际问题,并根据激光划切机性能指标要求设计xy精密工作台运动控制系统,实现工作台的精密控制。
关键词：直线电机 伺服控制 激光划切 
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