各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊：《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报（自然科学版）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划航天科技创新基金黑龙江省青年科学基金更多>>
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《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《材料科学与工程学报》
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作品数：4783被引量：18904H指数：35
曾用名：材料科学与工程
issn：1673-2812cn：33-1307/T
主办单位：浙江大学
发文主题：力学性能 复合材料 英文 投稿指南 微观结构
发文领域：一般工业技术 化学工程 理学 金属学及工艺 电气工程
《光学精密工程》
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作品数：8845被引量：47005H指数：54
曾用名：光学机械
issn：1004-924Xcn：22-1198/TH
主办单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发文主题：光学 英文 图像处理 光学设计 空间相机
发文领域：自动化与计算机技术 机械工程 电子电信 理学 航空宇航科学技术
《中国钼业》
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作品数：4612被引量：5598H指数：26
曾用名：钼业经济技术
issn：1006-2602cn：61-1238/TF
主办单位：金堆城钼业集团有限公司;陕西省有色金属学会；中国有色金属工业协会钼业分会
发文主题：钼 钼精矿 钼业 钼矿 金
发文领域：冶金工程 经济管理 矿业工程 金属学及工艺 一般工业技术
《传感器世界》
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作品数：7498被引量：5927H指数：23
issn：1006-883Xcn：11-3736/TP
主办单位：北京信息科技大学
发文主题：传感器 展览会 压力传感器 投稿 机器人
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 经济管理 机械工程 电气工程
《机电工程技术》
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作品数：16968被引量：26205H指数：26
曾用名：机械开发
issn：1009-9492cn：44-1522/TH
主办单位：广东省机械研究所有限公司;广东省机械工程学会
发文主题：PLC 系统设计 控制系统 单片机 机器人
发文领域：自动化与计算机技术 机械工程 电气工程 金属学及工艺 交通运输工程
《江苏大学学报（自然科学版）》
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作品数：3307被引量：16380H指数：33
曾用名：江苏工学院学报；江苏理工大学学报（自然科学版）
issn：1671-7775cn：32-1668/N
主办单位：江苏大学
发文主题：数值模拟 汽车 柴油机 仿真 有限元分析
发文领域：交通运输工程 自动化与计算机技术 机械工程 理学 建筑科学
《材料工程》
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作品数：8064被引量：35599H指数：41
issn：1001-4381cn：11-1800/TB
主办单位：中国航发北京航空材料研究院
发文主题：复合材料 力学性能 显微组织 铝合金 性能研究
发文领域：一般工业技术 金属学及工艺 化学工程 航空宇航科学技术 理学
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2063H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《上海交通大学学报》
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作品数：11888被引量：52589H指数：49
issn：1006-2467cn：31-1466/U
主办单位：上海交通大学
发文主题：数值模拟 神经网络 遗传算法 机器人 征稿简则
发文领域：自动化与计算机技术 理学 电子电信 交通运输工程 机械工程
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