黑龙江省青年科学基金(QC05C12)

作品数：1被引量：2H指数：1
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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
《材料工程》2007年第8期24-27,共4页邱成军 刘红梅 张辉军 赵全亮 孟丽娜 曹茂盛 
黑龙江省青年科学技术专项资金(QC05C12);黑龙江大学杰出青年基金(JC200504)
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS 
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