张辉军

作品数：12被引量：20H指数：3
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发文主题：射频磁控溅射氧传感器MEMS金红石相PN结更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《哈尔滨理工大学学报》《传感技术学报》《高技术通讯》《仪器仪表学报》更多>>
所获基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目黑龙江省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目黑龙江省青年科学基金更多>>
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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
《材料工程》2007年第8期24-27,共4页邱成军 刘红梅 张辉军 赵全亮 孟丽娜 曹茂盛 
黑龙江省青年科学技术专项资金(QC05C12);黑龙江大学杰出青年基金(JC200504)
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS 
PN结型硅基TiO_2氧传感器的特性分析
《传感器与微系统》2006年第9期26-28,共3页张辉军 穆长生 
采用薄膜技术研制了一种以硅PN结结构为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程及其特性。给出了磁控溅射工艺制备银电极及TiO2薄膜的方法,利用X射线衍射(XRD)标定了TiO2薄膜的金红石相晶体结构,通过扫...
关键词：氧传感器 射频磁控溅射 PN结 金红石相 
MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究被引量：1
《高技术通讯》2006年第6期606-609,共4页刘红梅 邱成军 张德庆 张辉军 曹茂盛 
863计划（2002AA305509）、海军装备十五计划（401050301）、黑龙江省科技计划（GB02A302）资助项目.
提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法。采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料，并与PZT溶胶交替涂覆在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，使PZT厚度达2μm，并且使PZT表面质量得到了改善。利用XRD和SEM对PzT厚膜的组织和结构进行...
关键词：nano-PZT 厚膜 MEMS 
硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究被引量：2
《仪器仪表学报》2006年第z2期1625-1626,共2页张辉军 穆长生 王璐 
黑龙江省教育厅基金资助项目(10531129)
采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的...
关键词：薄膜 PN结 射频磁控溅射 氧传感器 金红石相 
磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量：5
《材料工程》2005年第10期35-37,46,共4页邱成军 曹茂盛 张辉军 刘红梅 田风军 刘鑫 
黑龙江省教育厅计划资助项目(10531129)
利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银...
关键词：薄膜 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性 
溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：1
《云南大学学报（自然科学版）》2005年第S1期325-329,共5页邱成军 曹茂盛 孟丽娜 刘红梅 张辉军 
使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜的刻蚀工艺.采用Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构,解决...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 刻蚀 微驱动器 MEMS 
Fe^(3+)-TiO_2复合纳米薄膜的制备及光催化特性的研究被引量：2
《云南大学学报（自然科学版）》2005年第S1期117-121,共5页张辉军 邱成军 
黑龙江省教育厅计划资助项目(10531129)
通过射频磁控溅射工艺制备了TiO2复合纳米薄膜并分析了薄膜的结构及光催化特性.退火温度在350-550℃时Fe3+-TiO2复合薄膜均为锐钛矿相,以石英玻璃为基片的掺铁TiO2复合膜在(101)面有一定的择优取向.复合膜晶粒为锥形颗粒,薄膜表面积大...
关键词：复合纳米薄膜 TIO2 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性 
MEMS结构氧传感器的研究被引量：4
《传感技术学报》2005年第3期531-533,共3页邱成军 刘鑫 曲伟 张辉军 
教育部资助项目(204047)
采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱,讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气...
关键词：MEMS 氧传感器 磁控溅射 
锐钛矿纳米晶粒TiO_2薄膜的制备及分析被引量：1
《黑龙江大学自然科学学报》2005年第1期103-106,共4页张辉军 邱成军 
黑龙江省教育厅计划项目(10531129)
以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2 薄膜。利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2 薄膜的结构及表面形貌。实验结果显示,用射频磁控溅射得到的纳米晶粒TiO2 薄膜与衬...
关键词：纳米晶粒TiO2薄膜 射频磁控溅射 晶化 锐钛矿相 金红石相 
利用PTC热敏电阻热耗散转速仪的研制被引量：1
《哈尔滨理工大学学报》2002年第4期93-95,共3页穆长生 曲伟 张辉军 关辉 
根据PTC电阻-温度特性,研制了热耗散转速仪,并阐述了热耗散转速仪的结构和原理.实验结果表明,该转速仪可以测量流体的流速,当流速增加时,通过PTC电阻的电流按指数规律增加.在流体的测量中有广泛的应用.
关键词：热敏电阻 热耗散转速仪 研制 PTC 变频调速 结构 原理 流体 流速测量 
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