PZT薄膜

作品数：127被引量：189H指数：6
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电缆局放检测用柔性压电超声传感器的灵敏度优化
《高电压技术》2025年第2期652-659,共8页袁燕岭 高岭 张占新 赵一明 颜育 吴明 钟力生 
国家自然科学基金(52407026)。
传统压电陶瓷超声传感器与电缆表面之间存在声学界面不匹配问题,而柔性压电超声传感器能够克服这一缺点、实现电缆局部放电超声信号的检测。然而持续提高柔性压电超声传感器的灵敏度,进一步降低其对超声信号的检出极限,是其走向实际应...
关键词：电力电缆 局部放电 柔性压电传感器 超声检测 PZT薄膜 
基于PZT薄膜的高频压电式微机械超声换能器的仿真与制备
《上海师范大学学报（自然科学版）》2023年第5期597-608,共12页刘亚琦 陈明珠 张巧珍 赵祥永 王巨杉 唐艳学 王飞飞 王书豪 汪尧进 苗斌 李加东 
国家自然科学基金(52172005,11574214,11974250)。
压电式微机械超声换能器(PMUT)是当前生物医学超声成像领域的研究热点.锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3),PZT)压电薄膜是近年来微机械超声换能器使用的核心压电材料.基于PZT压电薄膜,使用有限元软件COMSOL Multiphysics创建了三维有限元仿...
关键词：压电式微机械超声换能器(PMUT) 高频 锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3) PZT)薄膜 器件制备 
底电极原位退火与沉积温度对PZT薄膜性能影响研究被引量：1
《硅酸盐通报》2023年第2期743-750,760,共9页王兴 邹赫麟 
国家自然科学基金(51775088);山西省科技厅基础研究计划青年基金(202203021212017)。
采用磁控溅射工艺,在Pt/Ti底电极上沉积锆钛酸铅(PZT)薄膜,研究了原位退火温度与底电极沉积温度对溅射PZT薄膜结晶取向、微观结构、介电性能、铁电性能及疲劳性能的影响。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析结果表明,随着电极沉...
关键词：Pt/Ti底电极 压电薄膜 原位退火 择优取向 介电性能 抗疲劳特性 
基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究
《机电工程技术》2022年第12期69-72,共4页杨帆 崔岩 王子祥 于昊 梁宇鑫 
针对主流热光开关、静电光开关等功耗大、响应速率较慢等问题,设计出了一种以锆钛酸铅(PZT)薄膜为核心的以应力相移器驱动的MZI光开关。采用了溶胶凝胶法,在氮化硅光子芯片上制备PZT薄膜,完成应力相移器加工。为了避免PZT薄膜在高温结...
关键词：应力相移器 PZT薄膜 金属保护层 
应力诱发压电薄膜晶内微裂纹演化的数值模拟
《系统仿真技术》2022年第2期81-84,108,共5页王永璞 黄佩珍 
江苏省自然科学基金项目(BK20141407);江苏高校优势学科建设工程资助项目
压电薄膜的制备和使用过程中不可避免地引入微裂纹等微观缺陷。在不同的内在物理机制和外界驱动力作用下,微裂纹会出现多种多样的形貌演化行为,甚至失稳并发生分裂,影响相关微元器件的各种性能。本文基于表面扩散和蒸发-凝结的经典理论...
关键词：应力迁移 表面扩散 PZT薄膜 有限单元法 微裂纹 
La掺杂对不同Zr/Ti梯度锆钛酸铅薄膜性能的影响
《材料科学》2022年第5期465-473,共9页张帅 杨志峰 邹赫麟 
本文基于溶胶凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上,利用自发的离子扩散效应,采用梯度补偿的方法制备了不同梯度的PZT薄膜,同时研究了镧掺杂对不同梯度锆钛酸铅薄膜的晶向结构、微观形貌、介电性能、铁电性能以及疲劳性能的影响。XRD...
关键词：浓度梯度 PZT薄膜 LA掺杂 溶胶凝胶 
磁控溅射法制备PMN-PZT/PZT异质薄膜的电性能
《材料科学》2022年第5期516-523,共8页宛瑛泽 李克洪 孟令凤 张帅 杨志峰 邹赫麟 
在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上覆盖Pb1.2(Zr0.40, Ti0.60)O3种子层,使用磁控溅射法在种子层上交替沉积0.3Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.7Pb(Zr0.52Ti0.48)O3和Pb(Zr0.52Ti0.48)O3制备多层异质结构薄膜。研究异质界面数量不变的基础上,0.3Pb(Mg...
关键词：磁控溅射 多层PZT薄膜 厚度比 微观结构 电性能 
压电PZT薄膜上超细电极的制备被引量：1
《机电工程技术》2021年第10期29-32,共4页于舜尧 崔岩 王子祥 李嘉豪 杨帆 于昊 
压电PZT薄膜具有横向压电系数大,与MEMS工艺兼容性高等优点,在制作以压电PZT薄膜为核心的MEMS器件,如压电应力光开关时,需要将电极宽度缩小至10μm,甚至5μm,但长度仍需保持在8000μm,电极长宽比达1600∶1。针对目前MEMS器件应用需求,...
关键词：PZT 溶胶凝胶法 剥离 超细电极 
溶胶-凝胶法制备PZT薄膜研究进展被引量：2
《压电与声光》2021年第4期566-572,共7页刘立崴 周闯 丁江 
国家自然科学基金资助项目(No.51905113);广西自然科学基金资助项目(No.2017GXNSFBA198233);广西研究生教育创新计划基金资助项目(No.YCSW2020018)。
随着微机电系统(MEMS)产业的快速发展,铁电薄膜材料作为微机电器件的重要组成部分而愈受重视。锆钛酸铅(PZT)薄膜具有优越的压电性、热释电性及光电性等性能,在微电子、压电、光学及半导体等领域展现了巨大的应用潜力。因此,高性能PZT...
关键词：微机电系统 铁电薄膜 铁电性能 PZT薄膜 溶胶-凝胶法 
不同激光能量和Zr/Ti比对PLD法制备PZT薄膜结晶质量的影响
《昆明冶金高等专科学校学报》2021年第3期7-12,共6页李瑛娟 滕瑜 宋群玲 杨志鸿 蔡川雄 张金梁 
云南省应用基础研究计划项目:稀土掺杂PZT压电陶瓷制备工艺及性能研究(2016FD064);昆明冶金高等专科学校科研基金项目:稀土掺杂PZT压电陶瓷制备工艺及性能研究(2015XJQN002)。
典型的压电材料Pb(Zr0.52Ti0.48)O3因其优异的性能,可用来制备各种类型的压电器件,一直受到许多研究者的关注。采用PLD法在SrTiO3(100)单晶衬底上制备出了不同组分的PZT薄膜,讨论了不同激光能量和Zr/Ti比对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜结晶...
关键词：PZT薄膜 激光能量 Zr/Ti比 结晶质量 
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