刘红梅

作品数：5被引量：13H指数：2
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供职机构：哈尔滨工程大学更多>>
发文主题：PZT锆钛酸铅溶胶-凝胶乙二醇溶胶-凝胶法制备更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《哈尔滨工业大学学报》《高技术通讯》《材料工程》更多>>
所获基金：黑龙江省科技攻关计划国家高技术研究发展计划更多>>
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用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征被引量：2
《哈尔滨工业大学学报》2007年第9期1499-1502,共4页刘红梅 赵全亮 段中夏 邱成军 曹茂盛 
研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理...
关键词：锆钛酸铅 厚膜 溶胶-凝胶 悬臂梁 
PZT纳米晶的改进型溶胶-凝胶法制备及其生长过程研究被引量：1
《高技术通讯》2006年第11期1154-1158,共5页张德庆 林海波 刘红梅 刘海涛 邱成军 曹茂盛 
863计划（2002AA305509）、海军装备十五计划（401050301）和黑龙江省科技计划（GB02A302）资助项目.
以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，采用改进的溶胶-凝胶法，通过优化工艺参数制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0．48）O3（PZT）。通过对工艺条件研究，揭示了体系的凝胶化可通过升高温度和增加pH值来实现。通过对溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、...
关键词：溶胶-凝胶 乙二醇 锆钛酸铅 纳米晶 
MEMS集成应用的纳米结构PZT厚膜形成工艺研究被引量：1
《高技术通讯》2006年第6期606-609,共4页刘红梅 邱成军 张德庆 张辉军 曹茂盛 
863计划（2002AA305509）、海军装备十五计划（401050301）、黑龙江省科技计划（GB02A302）资助项目.
提出了制备PZT厚膜的一种新的旋转涂覆方法。采用0-3复合法将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料，并与PZT溶胶交替涂覆在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上，使PZT厚度达2μm，并且使PZT表面质量得到了改善。利用XRD和SEM对PzT厚膜的组织和结构进行...
关键词：nano-PZT 厚膜 MEMS 
溶胶-凝胶法制备纳米PZT粉体及结构表征被引量：9
《材料工程》2006年第3期52-54,59,共4页刘红梅 张德庆 林海波 张亮 刘海涛 邱成军 曹茂盛 
863计划(2002AA305509);海军装备十五计划(401050301);黑龙江省科技计划(GB02A302)
采用改进的溶胶-凝胶法，以乙二醇为溶剂，硝酸锆为锆源，制备了纳米Pb（Zr0.52Ti0.48）O3粉体。通过溶胶的红外光谱分析给出了溶胶、凝胶形成的机理。通过IR，TG-DTA，XRD，SEM，TEM分析对PZT纳米晶的生长过程及性能进行了表征。实验...
关键词：溶胶-凝胶 乙二醇 锆钛酸铅 纳米粉体 
溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：2
《传感器技术》2004年第9期26-28,共3页邱成军 孟丽娜 刘红梅 曹茂盛 
黑龙江省计划项目(GB02A302)
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题。
关键词：锆钛酸铅薄膜 微驱动器 微机械加工 
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