段中夏

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：北京理工大学更多>>
发文主题：厚膜溶胶-凝胶锆钛酸铅PZT厚膜PZT更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《哈尔滨工业大学学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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基于溶胶-凝胶的两种旋涂方法制备PZT厚膜(英文)被引量：1
《功能材料与器件学报》2009年第3期275-279,共5页段中夏 赵全亮 刘红梅 曹茂盛 
863 Scientific Project(No.2007AA03Z103);the National Natural Science Foundation(No.50742007)
采用溶胶-凝胶法,研究了两种在Au/Cr/SiO2/Si基底上沉积PZT(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3)厚膜的方法。把与PZT澄清溶胶成分相同的PZT纳米粉混入澄清PZT溶胶,然后超声混合形成PZT浆料,PZT纳米粉的粒径为50～100nm。XRD分析表明两种方法得到的PZT...
关键词：PZT 厚膜 溶胶-凝胶 旋涂 
用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征被引量：2
《哈尔滨工业大学学报》2007年第9期1499-1502,共4页刘红梅 赵全亮 段中夏 邱成军 曹茂盛 
研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理...
关键词：锆钛酸铅 厚膜 溶胶-凝胶 悬臂梁 
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