溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究  

Process research of microactuator with sputtering PZT film

作　　者：邱成军 孟丽娜[2] 刘红梅[1] 曹茂盛 

机构地区：[1]哈尔滨工程大学机电学院,黑龙江哈尔滨150001 [2]黑龙江大学电子工程学院,黑龙江哈尔滨150080

出　　处：《传感器技术》2004年第9期26-28,共3页Journal of Transducer Technology

基　　金：黑龙江省计划项目(GB02A302)

摘　　要：采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题。A valveless microactuator fabricated by the technology of microelectro mechanical system (MEMS) is depicted,and the PZT film driven to microactuator is deposited by the magnetic-controlled sputtering.The method of PZT film for microactuator is researched,and the solution for the key problems on prepared processes is also discussed.

关 键 词：锆钛酸铅薄膜 微驱动器 微机械加工 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]