孟丽娜

作品数：3被引量：4H指数：2
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供职机构：黑龙江大学更多>>
发文主题：微驱动器PZT薄膜MEMS溶胶-凝胶法分子束外延更多>>
发文领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《云南大学学报（自然科学版）》《材料工程》更多>>
所获基金：黑龙江省青年科学基金更多>>
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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
《材料工程》2007年第8期24-27,共4页邱成军 刘红梅 张辉军 赵全亮 孟丽娜 曹茂盛 
黑龙江省青年科学技术专项资金(QC05C12);黑龙江大学杰出青年基金(JC200504)
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS 
溶胶-凝胶法制作PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：1
《云南大学学报（自然科学版）》2005年第S1期325-329,共5页邱成军 曹茂盛 孟丽娜 刘红梅 张辉军 
使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜的刻蚀工艺.采用Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构,解决...
关键词：PZT薄膜 溶胶-凝胶法 刻蚀 微驱动器 MEMS 
溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究被引量：2
《传感器技术》2004年第9期26-28,共3页邱成军 孟丽娜 刘红梅 曹茂盛 
黑龙江省计划项目(GB02A302)
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器。探讨了PZT薄膜微驱动器的制备工艺方法,解决了制备工艺中存在的关键问题。
关键词：锆钛酸铅薄膜 微驱动器 微机械加工 
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