田风军

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
发文主题:磁控溅射制备TIO_2薄膜光催化活性光催化射频磁控溅射更多>>
发文领域:化学工程更多>>
发文期刊:《材料工程》更多>>
所获基金:黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
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磁控溅射制备掺银TiO_2薄膜的光催化特性研究被引量:5
《材料工程》2005年第10期35-37,46,共4页邱成军 曹茂盛 张辉军 刘红梅 田风军 刘鑫 
黑龙江省教育厅计划资助项目(10531129)
利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响。并通过对甲基橙溶液浓度变化研究了掺银TiO2薄膜光催化特性,分析了掺银...
关键词:薄膜 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性 
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