国家自然科学基金(50075055)

作品数：5被引量：10H指数：2
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微米级锂离子电池正极材料尖晶石LiMn_2O_4的合成及性能被引量：4
《复旦学报（自然科学版）》2004年第4期524-529,共6页吴晓梅 杨春生 奚峻 吴益华 
国家自然科学基金资助项目(50075055)
对微米级和常规固相反应方法制备的锂离子电池正极材料尖晶石LiMn2O4的结构和性能进行了比较,并采用扫描电子显微镜(SEM),X 射线衍射(XRD)及慢扫描循环伏安(SSCV)、交流阻抗(EIS)的电化学测试方法对材料进行了表征.结果表明微米级的尖晶...
关键词：微米级锂离子电池 正极材料 尖晶石 LIMN2O4 合成 循环伏安 
PMMA的反应离子深刻蚀被引量：2
《真空科学与技术学报》2004年第2期157-160,共4页张丛春 杨春生 丁桂甫 黄龙旺 
国家自然科学基金 (No .5 0 0 75 0 5 5 )
对PMMA进行反应离子深刻蚀以获得高深度比微结构。研究了纯氧刻蚀气体中加入CHF3 对刻蚀速率、图形形貌等的影响。纯氧刻蚀PMMA ,钻蚀现象严重。加入CHF3 后 ,刻蚀速率随CHF3 含量增加而下降。加入适量CHF3 ,可以在侧壁形成钝化层 ,保...
关键词：PMMA 反应离子刻蚀 比微结构 刻蚀气体 钻蚀 HGA技术 
有机玻璃的反应离子深刻蚀被引量：1
《上海交通大学学报》2004年第z1期118-121,共4页张丛春 杨春生 丁桂甫 毛海平 倪智萍 
国家自然科学基金资助项目(50075055)
以有机玻璃薄片为原料,进行反应离子深刻蚀,探讨了有机玻璃的刻蚀反应机理,着重研究了工作气压和功率密度对刻蚀速率、图形形貌的影响.结果表明,O2反应离子刻蚀有机玻璃是以化学刻蚀为主,同时离子碰撞作用也很重要.刻蚀速率开始随气压...
关键词：反应离子刻蚀 有机玻璃 微结构 微机电系统 
商品有机玻璃片微结构的深刻蚀研究被引量：1
《压电与声光》2003年第3期249-251,共3页黄龙旺 杨春生 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50075055)
研究应用O2反应离子刻蚀(RIE)直接深刻蚀商用有机玻璃(PMMA)片,以实现微结构的三维微加工,工艺简单,加工成本较低,为微器件的高深宽比加工提出了新方法。试样采用Ni作掩膜,以普通的光刻胶曝光技术和湿法刻蚀法将Ni掩膜图形化。工作气压...
关键词：有机玻璃 反应离子刻蚀 微结构 PMMA 刻蚀参数 刻蚀速率 刻蚀形貌 
反应离子刻蚀PMMA的各向异性刻蚀研究被引量：2
《微细加工技术》2002年第4期54-57,共4页黄龙旺 杨春生 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 75 0 5 5 )
研究目的是优化Ni掩模PMMARIE的刻蚀参数 ,在氧刻蚀气体中加入表面钝化性气体CHF3 ,以较快的刻蚀速率获得垂直的侧壁和最小的掩模钻蚀。采用平行板结构的反应离子刻蚀机刻蚀 ,研究了刻蚀气压、CHF3 /O2 比率和刻蚀温度对垂直、侧向刻蚀...
关键词：反应离子刻蚀 PMMA 各向异性 RIE 干法刻蚀 
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