石二磊

作品数：3被引量：14H指数：3
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：硅尖各向异性腐蚀干法刻蚀湿法腐蚀微悬臂梁更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术建筑科学更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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掩模偏转方向对硅尖形状的影响被引量：3
《光学精密工程》2009年第8期1865-1869,共5页崔岩 石二磊 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
为制备高纵横比的纳米硅尖,研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程,采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀(100)单晶硅的方法制备硅尖,根据实验结果和{411}晶面模型,分析了硅尖侧壁的组成晶面,讨论了掩模偏转方向对硅...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 掩模 
各向异性腐蚀制备纳米硅尖被引量：4
《微纳电子技术》2008年第12期724-728,共5页石二磊 崔岩 夏劲松 王立鼎 
国家自然科学基金(90607002)
采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇(IPA)对硅尖形状的影响。设计了硅尖制作的工艺流程,制备了形状不同、纵横比值为0.52～2.1的硅尖,并结合晶面相交模型,提出了硅尖晶面...
关键词：硅尖 各向异性 氧化削尖 晶面 掩模 
PT/PZT/PT薄膜微力传感器被引量：8
《光学精密工程》2007年第9期1404-1409,共6页崔岩 孟汉柏 王兢 石二磊 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.9020700390607002)
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明,在PZ...
关键词：PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 
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