微力传感器

作品数:48被引量:135H指数:6
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基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管MEMS微力传感器
《Engineering》2023年第2期61-74,M0004,共15页高文迪 乔智霞 韩香广 王小章 Adnan Shakoor 刘存朗 卢德江 杨萍 赵立波 王永录 王久洪 蒋庄德 孙东 
supported in part by the National Natural Science Foundation of China(52105589 and U1909221);in part by the China Postdoctoral Science Foundation(2021M692590);in part by the Beijing Advanced Innovation Center for Intelligent Robots and Systems(2019IRS08);in part by the Fundamental Research Funds for the Central Universities(China)(xzy012021009);in part by the State Key Laboratory of Robotics and Systems(HIT)(SKLRS2021KF17)。
本文介绍了一种基于横向可移动栅极场效应晶体管(LMGFET)的新型微型力传感器的开发。提出了一种精确的电气模型,用于小型LMGFET器件的性能评估,与以前的模型相比,其精度有所提高。采用了一种新型三明治结构,该结构由一个金交叉解耦栅阵...
关键词:力传感器 场效应晶体管 横向运动 三明治结构 电气模型 显微操作 非线性度 双差分 
基于宏弯损耗原理的光纤微力传感器
《仪表技术与传感器》2022年第11期12-16,共5页杨毅 
针对微操作/微装配系统中夹持力和装配力微小、不易感测,且微器件易变形、断裂等问题,设计一种基于宏弯损耗原理的光纤微力传感器,用于微力传感。建立了光纤微力传感器测量微小力的传感方程,仿真研究了微力传感器结构参数对传感性能的影...
关键词:光纤传感 宏弯损耗 微力传感器 微力测量 
利用微力传感器定量探究安培力的大小被引量:2
《实验教学与仪器》2022年第5期28-30,共3页马佳宏 韩叙虹 
在现行教材中测量安培力大小的实验大多停留在定性描述阶段,大多不精确或不够严谨.通过滑动变阻器改变电流,以抽离磁铁的方式控制导线在磁场中的长度,用电磁铁代替普通磁铁,通过调节电压改变磁场强度,设计旋转磁场改变磁场与导线之间的...
关键词:安培力 微力传感器 定量测量 实验改进 
利用指针式电流表搭建瓦特秤
《物理实验》2021年第12期55-59,共5页刘天奇 崔芳鸣 冯一辰 
利用大学物理实验常用设备(如激光器、直流电源、电流表等)将指针式电流表改装成瓦特秤,用作微力传感器,该装置不需要定标.利用瓦特秤测量了水的蒸发曲线、超声驻波的声压分布以及带电导体之间的电场力,分辨率可达0.1μN.
关键词:瓦特秤 指针式电流表 微力传感器 蒸发曲线 声压分布 电场力 
精密微小装配中的传感器与测量技术被引量:4
《计测技术》2021年第5期9-22,共14页王晓东 
辽宁省“兴辽英才计划”项目资助(XLYC2002020);国家部委基础科研计划重大项目(JCYK 2016205 A003)。
高性能精密微小器件或产品的零件及其关键结构尺寸微小,因此在制造过程的装配环节,需借助基于传感器与测量技术的精密微小装配以保证装配精度。在微小零件装配过程中,需要精确测量待装配零件之间的相对位置和姿态的偏差,控制配合零件之...
关键词:精密装配 微装配 微小器件 精密测量 视觉传感器 微力传感器 
非晶合金微力传感器
《传感器与微系统》2021年第5期67-70,共4页张凯翔 马明哲 刘泽 
国家自然科学基金资助项目(11872284);武汉市科学技术局资助项目(2019010701011390)。
非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性。基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器。利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷-位移曲线...
关键词:微力传感器 非晶合金 微纳机电系统 微成型 
折线型IDT的SAW微力传感器设计研究
《电子测量与仪器学报》2021年第4期39-45,共7页马连杰 李媛媛 江蓓 曹乐 
国家自然科学基金(61803254)项目资助。
声表面波(SAW)微力传感器易于集成和小型化,无源无线的工作方式,具有极大的应用潜力。将其应用于物体间微间隙压力检测有望实现高灵敏、低功耗的监测水平。针对复杂环境中存在的测量灵敏度问题,设计了一种具有折线形状的叉指换能器(IDT)...
关键词:声表面波 传感器 叉指换能器 有限元分析 质量灵敏度 
具有微力感知的眼科手术器械的设计与实现被引量:13
《机械工程学报》2020年第17期12-19,共8页邬如靖 韩少峰 广晨汉 贺昌岩 马科 杨洋 
国家重点研发计划(2017YFB1302702);国家自然科学基金(51875011)资助项目。
针对眼内显微手术过程中器械与组织器官之间作用力微小、不易感知,且过大的操作力会造成组织损伤甚至撕裂等问题,设计一种基于光纤布拉格光栅(FBG)的微力传感器。在建立FBG反馈波长变化与力的关系基础上,探讨了温度对波长变化的影响,提...
关键词:微力传感器 显微眼科手术 手术器械 光纤布拉格光栅 
基于SAW微力传感器的GRNN拟合研究被引量:1
《传感器与微系统》2019年第12期14-17,共4页季雪咪 李媛媛 李济同 
国家自然科学基金资助项目(61803254)
针对传统方法拟合声表面波(SAW)微力传感器输入-输出曲线的算法为最小二乘法,但无法进行全局搜索,易获得局部最优解的不足,基于SAW微力传感器实测数据,采用广义回归神经网络(GRNN)进行曲线拟合。选取以铌酸锂为压电基底的SAW微力传感器...
关键词:广义回归神经网络 最小二乘法 声表面波微力传感器 曲线拟合 
狭缝压力检测的SAW微力传感器温度补偿研究被引量:1
《化工自动化及仪表》2019年第3期190-193,共4页张石晶 李媛媛 曹乐 
国家自然科学基金青年科学基金(61703270);上海市研究生科研创新项目(E3-0903-17-01041)
声表面波微力传感器容易受到温度的干扰进而影响测量精度,通过推导温度变化与振荡频率偏移之间的关系,结合温度传感器获得温度引起的频率误差,从而实现了温度补偿,同时得到了相对误差,证明了该补偿方法的有效性。
关键词:声表面波 振荡频率偏移 温度补偿 相对误差 
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