叉指换能器

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双电极叉指换能器声表面波低温传感器的设计与仿真分析
《压电与声光》2024年第6期871-877,共7页叶梦莹 崔永俊 王红亮 
山西省基础研究计划项目(20210302123034)。
为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真测试...
关键词：声表面波 温度传感器 低温 双电极叉指换能器 有限元 
基于SAW-IDT无损表征互连薄膜杨氏模量的研究
《传感技术学报》2024年第11期1841-1848,共8页黄祎婷 肖夏 张立 
国家自然科学基金项目(61571319)。
探究了一种利用声表面波叉指换能器(SAW-IDT)无损表征low-k互连薄膜杨氏模量的方案。采用有限元法对不同工作频率的SAW-IDT进行建模,研究SAW-IDT所激励的声表面波在不同厚度的二氧化硅薄膜以及low-k薄膜表面传播的特性。利用倾斜叠加法...
关键词：声表面波技术 杨氏模量 无损检测 有限元 叉指换能器 
高灵敏度声表面波温度传感器设计及制造
《传感器世界》2024年第9期27-32,共6页朱赛宁 陈少康 陈培仓 王涛 
针对无线无源声表面波温度传感器灵敏度差的问题,设计制作了一款中心频率为434.8 MHz的谐振式声表面波温度传感器。基于声表面波温度传感器的工作原理,以Y-X切型石英材料为衬底,设计了传感器芯片结构及工艺制备流程,通过圆片级丝网印刷...
关键词：声表面波 温度传感器 叉指换能器 灵敏度 
对声表面波滤波器的构成与性能的分析
《辽宁广播电视技术》2023年第4期74-76,共3页李杰 
本文对声表面波滤波器的构成形式进行了介绍,又对它的工作原理及主要性能进行了分析。
关键词：声表面波滤波器 叉指换能器 压电晶体 梳状电极 
聚偏氟乙烯叉指的多波段瑞利波水下传播特性
《哈尔滨工程大学学报》2023年第9期1557-1562,共6页丁忠军 冯志亮 孟德健 李洪宇 张奕 李德威 
国家重点研发计划重点专项项目(2017YFC0306600);山东省重点研发计划(2020JMRH0101);国家重点研发专项(2021YFC2802100).
针对深海装备存在结构损伤实时监测困难的问题,本文设计了柔性电路板制作的以聚偏氟乙烯(PVDF)为基底的叉指换能器,并展开叉指换能器的多波段瑞利波水下传播特性的研究。通过COMSOL软件研究叉指换能器在水下传播瑞利波的特性,同时分析...
关键词：深海装备 瑞利波 无损探伤 叉指换能器(IDT) 柔性电路板 薄膜传感器 数值仿真 实时监测 
基于IDTs电极分层布局结构的瑞利波器件特性研究
《压电与声光》2023年第1期11-17,共7页袁宇鑫 武庆鹏 孙立 孙科学 王艳 
江苏省研究生科研创新计划(KYCX21_0711);南京邮电大学基金资助项目(NY213038)。
现代科技的发展对高频声表面波(SAW)器件的需求不断增加,对其工作频率也提出了更高的要求。为了提高SAW器件的频率,该文构建了一种IDTs电极分层布局的器件模型,即IDTs/AlN/IDTs/R-sapphire结构,并采用有限元法分析其声学性能,包括导纳...
关键词：声表面波 叉指换能器 有限元分析 机电耦合系数 瑞利波 
声表面波气体传感器叉指换能器的结构优化
《黑龙江科技大学学报》2022年第4期520-524,共5页沈斌 杨海洋 刘新蕾 姜雷鸣 
国家自然科学基金项目(52074111);黑龙江省自然科学基金项目(YQ2020E034)。
为降低声表面波气体传感器在传播声波时所产生的插入损耗,分析了常规高损耗型双向叉指换能器的结构形状,设计了一种低损耗型浮动电极单向换能器的结构,采用COMSOL有限元软件建立双向和单向叉指换能器的仿真模型,通过添加固体力学和静电...
关键词：声表面波传感器 双向叉指换能器 浮动电极单向换能器 插入损耗 
低插损高频SAW滤波器的研究被引量：2
《压电与声光》2022年第2期180-186,共7页王巍 周杨春 王方 谭纪伟 滕洪菠 李俊峰 
重庆市科技局科技重大专项基金资助项目(cstc2018jszx-cyztzx0211,cstc2018jszx-cyztzxX0054);重庆市教委基金资助项目(KJQN201800628)。
采用单层膜、梯形结构基于128°YX-LiNbO_(3)材料研究了Al电极厚度、叉指占空比、反射栅周期、拓扑结构对插损、带外抑制和矩形度的影响。为了降低带内波动和插入损耗,该文设计了一种叉指换能器(IDT)型反射栅结构,该结构对采取优化措施...
关键词：占空比 声表面波(SAW)滤波器 叉指换能器(IDT)型反射栅 电极厚度 “T+π”型拓扑结构 
跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究被引量：2
《传感器与微系统》2022年第3期32-35,共4页李志鹏 孟旭 王博男 张超 
国家自然科学基金面上资助项目(52175497);中央高校基本科研业务费专项资金项目(2572019CP04,2572018AB29)。
利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式。通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变...
关键词：声表面波 复合膜结构 叉指换能器 跨层布局 COMSOL软件 
多层SAW器件叉指换能器错层布局研究
《传感器与微系统》2022年第2期14-16,20,共4页李志鹏 孟旭 王博男 张超 
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2572019CP04,2572018AB29)。
利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分...
关键词：声表面波 多层结构 叉指换能器 错层布局 
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