机电耦合系数

作品数:180被引量:456H指数:9
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高灵敏压电换能器敏感元件的研究
《传感器与微系统》2025年第4期44-47,共4页井苏杰 于肇贤 王宏伟 邵震 
北京自然科学基金资助项目(KZ202111232050)。
研究了一种高灵敏压电换能器敏感元件的优化问题。通过在1-3-2型压电复合材料的陶瓷小柱阵列间不注入聚合物,并在阵列上表面覆盖金属面板的方式,提升了压电敏感元件的机电耦合系数。通过理论分析,有限元仿真和实验分析了不同厚度的黄铜...
关键词:1-3-2型压电复合材料 有限元仿真 机电耦合系数 金属面板 
压电材料在低温下的性能研究
《压电与声光》2024年第6期910-915,共6页侯艳青 刘小川 李建军 魏鑫成 李清晨 郭绍瑞 
国家自然科学基金资助项目(52207018);7T全身核磁共振MRI超导磁体系统装备(二期)(23KZS304)。
针对压电换能器中压电晶片的低温应用需求,研究了频率分别为4 MHz、2.5 MHz的PZT-5陶瓷、1-3复合材料和PMN-PT弛豫单晶3种不同的压电材料在50~300 K下的机电性能。实验结果表明,PZT陶瓷、PMN-PT单晶的谐振频率F s、机电耦合系数K t在低...
关键词:压电材料 低温 谐振频率 机电耦合系数 介电常数 
基于玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器设计
《仪表技术与传感器》2024年第12期41-46,共6页刘月 孙长河 黑创 罗明璋 
国家自然科学基金项目(52205587);湖北省自然科学基金项目(2022CFB734)。
为了提高压电超声换能器在高温下的机电转换效率和稳定性,设计了一种基于玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器,并对其进行了结构优化。通过有限元仿真、器件制作和实验测试,分析了玻璃空腔尺寸和工作温度对有效机电耦合系数、谐振频率、...
关键词:压电 超声换能器 高温 玻璃空腔衬底 机电耦合系数 
倾斜结构对LiTaO_(3)-POI多层结构的SAW谐振器性能的影响
《电子元件与材料》2024年第8期950-956,共7页杨幸 帅垚 罗文博 吴传贵 张万里 
四川省科技计划基金(2020YFJ0002)。
旨在探究倾斜结构在LiTaO_(3)-POI多层结构上对SAW谐振器横向模态杂散的影响。通过有限元方法(FEM),构建两种单端口谐振器模型,半周期P为0.98μm和1.42μm,孔径均为40P。然后对一系列倾斜角度(0°,2.5°,5°,7.5°,10°,12.5°,15°,17....
关键词:LiTaO_(3)-POI多层结构 倾斜结构 机电耦合系数 阻抗比 
Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅压电陶瓷的制备与表征
《大连工业大学学报》2024年第4期291-295,共5页贝颂 何宜珂 马寅博 刘贵山 
辽宁省教育厅服务地方项目(J2020010);辽宁省高等学校产业技术研究院项目(2018LY017)。
以三氧化二锑、碳酸钡为掺杂原材料,采用固相烧结法制备了Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅陶瓷。利用XRD、SEM、自动元件分析仪、准静态D33测量仪、精密阻抗分析仪等对介质的物相、微观形貌、机电性能进行了研究。实验结果表明,Sb^(3+)...
关键词:锆钛酸铅 共掺杂 压电陶瓷 机电耦合系数 
背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制备技术研究
《压电与声光》2024年第3期296-299,共4页徐阳 司美菊 吴高米 刘文怡 巩乐乐 甄静怡 余奇 陈金琳 
随着移动通信技术的快速发展,薄膜体声波滤波器逐渐向高频和大带宽方向发展。该文研究了POI(LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si)基片上背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制作工艺,通过研究POI基IDT光刻、背腔硅刻蚀等工艺,确定了IDT层曝光量和背...
关键词:干法刻蚀 刻蚀速率 横向激励 机电耦合系数 薄膜体声波谐振器 
一种改进型1-3-2压电复合材料的研究被引量:1
《压电与声光》2024年第2期223-226,共4页井苏杰 于肇贤 王宏伟 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教委科研计划科技重点基金资助项目(KZ202111232050)。
高质量的压电换能器需要具备较高的机电耦合系数和灵敏度。该文在传统型1-3-2压电复合材料的基础上提出了一种改进型1-3-2压电材料,提高了压电换能器的机电耦合系数和换能器的接收灵敏度。通过有限元仿真分析了不同间距对改进型1-3-2压...
关键词:不同间距 1-3-2型压电复合材料 改进型 谐振频率 反谐振频率 机电耦合系数 
SAW压力传感器声传播方向特性研究
《传感器与微系统》2023年第11期27-30,共4页李旺旺 薛卫彪 屈珉敏 
山西省基础研究计划青年项目(202203021212191);山西省高等学校科技创新项目(2021L413)。
针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11...
关键词:声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度 
双不确定参数作用下双稳态能量采集系统的随机响应分析被引量:3
《动力学与控制学报》2023年第10期72-84,共13页张莹 高艺玲 段霞霞 贾万涛 岳晓乐 
国家自然科学基金资助项目(12172286,11872306,12172284);航空科学基金资助项目(201941053004)
非线性多稳态能量采集系统模型复杂、结构参数较多,由于测量、加工、装配过程中不可避免的存在误差,这些结构参数都存在一定的不确定性.而关键参数的微小变化都可能对系统输出电压产生显著影响,特别当多不确定参数同时存在时,可能会对...
关键词:双稳态能量采集系统 不确定参数 正交多项式逼近法 机电耦合系数 
单端口声表面波谐振器在片去嵌方法分析被引量:3
《压电与声光》2023年第3期342-345,共4页韩晓宇 帅垚 吴传贵 罗文博 潘忻强 张万里 
为了准确地设计声表滤波器,需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时,单个谐振器无法直接进行测试,需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量,消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的...
关键词:去嵌入 SAW谐振器 机电耦合系数 等效电路 集总参数法 
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