司美菊

作品数：11被引量：26H指数：4
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：薄膜体声波谐振器FBARALN薄膜声表面波滤波器压电薄膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《人工晶体学报》更多>>
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背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制备技术研究
《压电与声光》2024年第3期296-299,共4页徐阳 司美菊 吴高米 刘文怡 巩乐乐 甄静怡 余奇 陈金琳 
随着移动通信技术的快速发展,薄膜体声波滤波器逐渐向高频和大带宽方向发展。该文研究了POI(LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si)基片上背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制作工艺,通过研究POI基IDT光刻、背腔硅刻蚀等工艺,确定了IDT层曝光量和背...
关键词：干法刻蚀 刻蚀速率 横向激励 机电耦合系数 薄膜体声波谐振器 
一款2.4 GHz WiFi频段FBAR带通滤波器设计被引量：1
《压电与声光》2022年第2期191-193,198,共4页唐小龙 刘娅 蒋平英 张必壮 徐瑞豪 刘繁 张建清 司美菊 吕俊豪 杜雪松 
该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段(2401~2483 MHz)薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason电路模型,在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路;在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型,并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) WiFi频段 体声波(BAW) 滤波器 Mason模型 
SAW滤波器WLP封装中腔体抗模压塌陷研究被引量：4
《压电与声光》2021年第1期84-87,共4页唐代华 金中 司美菊 罗旋升 谢东峰 谢晓 
通过对声表面波滤波器晶圆级封装结构的探讨,针对在模组封装时器件塌陷成因进行了有限元仿真模型研究,模拟了不同模压量对器件中腔体最大的塌陷量位置。经过实验验证,提出了一种新的金属加强结构,在3 MPa较高模压量时塌陷量几乎为0,解...
关键词：声表面波滤波器 晶圆级封装 灌封 射频前端模组 
基于掺杂压电薄膜的FBAR制备及研究被引量：2
《人工晶体学报》2020年第6期1040-1043,共4页兰伟豪 徐阳 张永川 蒋平英 司美菊 刘娅 卢丹丹 何西良 
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势,在滤波器领域有广泛的应用前景,其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法,在6英寸硅片上制备了AlScN压电薄膜。对AlScN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlScN压电...
关键词：压电薄膜 AlScN薄膜 磁控溅射 机电耦合系数 薄膜体声波谐振器 
X波段FBAR用AlN薄膜制备研究被引量：3
《压电与声光》2019年第2期170-172,共3页彭华东 徐阳 张永川 杜波 司美菊 蒋欣 赵明 
国防基础科研计划基金资助项目(JCKY2016210B010)
采用中频磁控溅射法,在硅基上制备了X波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器用AlN压电薄膜。对AlN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlN压电薄膜具有良好的(002)面择优取向,摇摆曲线半峰宽为2.21°,膜厚均匀性优于0.5%,薄膜应力为-5.02 MPa,应...
关键词：AlN 压电薄膜 中频磁控溅射 薄膜应力 薄膜体声波谐振器(FBAR) 
薄膜体声波谐振器调频工艺研究被引量：5
《压电与声光》2018年第2期162-164,共3页彭兴文 徐阳 杜波 张永川 司美菊 刘娅 何西良 卢丹丹 
薄膜体声波器件具有体积小及性能高等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层等声学层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素。该文分析了FBAR调频的必要性、原理及扫描刻蚀的工作方式,研究了...
关键词：薄膜体声波谐振器 调频 频率分散性 离子束 
二氟化氙释放牺牲层多晶硅刻蚀速率研究被引量：1
《压电与声光》2016年第6期926-928,933,共4页司美菊 杜波 田本朗 徐阳 金成飞 蒋欣 江洪敏 马晋毅 
该文研究了相关工艺参数对二氟化氙(XeF_2)干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器(FBAR)悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N_2流量的增大,刻蚀速率先增加后减少,刻蚀速率最大值为10.3μm/min;载气N2流量不变时...
关键词：空气隙 干法刻蚀 刻蚀速率 粗糙度 支撑层 
薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计被引量：8
《压电与声光》2016年第4期531-534,共4页杜波 马晋毅 蒋欣 江洪敏 徐阳 田本朗 金成飞 司美菊 
为了抑制薄膜体声波谐振器的寄生谐振,建立了薄膜体声波谐振器的二、三维有限元模型。通过频率响应仿真,分析了不同电极结构的谐振器在中心频率处的振动位移分布情况和频率响应曲线,评估了不同电极结构对谐振器寄生振动的影响,并完成谐...
关键词：薄膜体声波谐振器 有限元 寄生振动 频率响应 
AlN薄膜制备技术研究被引量：4
《压电与声光》2016年第4期539-540,547,共3页金成飞 司美菊 徐阳 杜波 陈云祥 
采用磁控溅射法制备了AlN薄膜并研究了射频（RF）等离子清洗对AlN薄膜结晶取向度的影响,实验表明,RF等离子清洗基片3min后AlN薄膜c轴取向摇摆曲线半峰宽达到1.3°;通过Mo薄膜衬底对AlN薄膜结晶取向度的影响发现,取向度好的Mo薄膜衬底有...
关键词：ALN薄膜 磁控溅射 结晶取向度 应力 薄膜体声波谐振器(FBAR) 
FBAR用氮化铝压电薄膜研究被引量：4
《压电与声光》2015年第6期934-936,共3页陈运祥 董加和 司美菊 李洪平 赵雪梅 张永川 于新晓 刘善群 
国家重点研究基金资助项目
介绍了FBAR用复合氮化铝(AlN)压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频(40kHz)磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流(DC)磁控溅射钼(Mo)靶制作出了Mo电极薄膜。对AlN压电薄膜、Mo电极薄膜进行了X线衍射(XRD)分析,结果表明,...
关键词：氮化铝压电薄膜 膜厚均匀性 薄膜应力 
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